[发明专利]一种多晶硅热场坩埚用辅助器具及其使用方法

权利要求书

1.一种多晶硅热场坩埚用辅助器具，包括用于提取坩埚的提取组件，其特征在于：所述提取组件包括顶板（1）、第一安装柱（2）、竖板（3），所述顶板（1）的下方平行设置有第一安装柱（2），第一安装柱（2）和顶板（1）之间通过两块竖板（3）固定连接；

所述第一安装柱（2）为空心柱状，且第一安装柱（2）内设置双轴电机（15），双轴电机（15）的两根输出轴分别伸出第一安装柱（2）的上、下两侧壳体、并连接有齿轮，且第一安装柱（2）的上、下两侧均安装有与齿轮驱动连接的挤压机构；

所述挤压机构包括活动板（8）、压板（9），所述活动板（8）为矩形板状，活动板（8）上沿其长度方向开始安装孔（801），安装孔（801）的一侧壁沿长度方向固定有齿板，同侧的齿轮位于安装孔（801）内、并与安装孔（801）内壁的齿板啮合，活动板（8）的末端固定有压板（9）；

两个挤压机构内的活动板（8）在同一方向上滑动连接于第一安装柱（2），两块活动板（8）的末端的指向相对设置。

2.根据权利要求1所述的一种多晶硅热场坩埚用辅助器具，其特征在于：所述竖板（3）的底端向下延伸、并固定有第二安装柱（4），该第二安装柱（4）与第一安装柱（2）相同，其内同样设置有双轴电机（15），第二安装柱（4）两侧同样设置有挤压机构。

3.根据权利要求2所述的一种多晶硅热场坩埚用辅助器具，其特征在于：所述第二安装柱（4）两侧的挤压机构内的两块活动板（8）和第一安装柱（2）两侧挤压机构内的两块活动板（8）呈十字交叉设置，且两块竖板（3）的底端均开设穿孔（301），所述穿孔（301）供第二安装柱（4）两侧挤压机构内的两块活动板（8）穿出。

4.根据权利要求1所述的一种多晶硅热场坩埚用辅助器具，其特征在于：所述顶板（1）的侧面周向固定若干根连杆（5），所述连杆（5）的末端均固定在同一块卡板（501）上，所述卡板（501）为环形板状，且卡板（501）的底部内侧面开设有若干个凹槽（16），所述凹槽（16）内通过弹簧固定连接有卡块（17），所述卡块（17）的外端伸出凹槽（16）。

5.根据权利要求4所述的一种多晶硅热场坩埚用辅助器具，其特征在于：所述卡块（17）的外端为上宽下窄的直角梯形块状。

6.根据权利要求5所述的一种多晶硅热场坩埚用辅助器具，其特征在于：所述压板（9）为弧形板状，压板（9）的外弧面固定有一层橡胶制密封垫（13），压板（9）内设空腔（901），密封垫（13）上分布于空腔（901）连通的透气孔（14），且压板（9）内还设置有与空腔（901）连通的导气孔（902），导气孔（902）的外端口处连接有进气管（12），所述顶板（1）的底面固定有抽气泵，所述抽气泵的抽气端通过气管（7）和各个压板（9）外侧的进气管（12）连通。

7.根据权利要求1所述的一种多晶硅热场坩埚用辅助器具，其特征在于：所述活动板（8）的外侧固定有卡板（10），所述卡板（10）为U形板状，且卡板（10）的两侧固定凸板（20），凸板（20）用于和第一安装柱（2）表面固定，所述卡板（10）和第一安装柱（2）之间留有间隙，用于供对应的活动板（8）穿过。

8.根据权利要求7所述的一种多晶硅热场坩埚用辅助器具，其特征在于：所述卡板（10）靠近第一安装柱（2）的表面固定有隔板（18），所述隔板（18）和卡板（10）的侧壁形成限位槽（19），未设置齿板的活动板（8）一侧滑动穿过限位槽（19）。

9.根据权利要求8所述的一种多晶硅热场坩埚用辅助器具，其特征在于：所述活动板（8）的两侧均滑动连接有限位块（11），限位块（11）均与第一安装柱（2）的表面固定。

10.根据权利要求1-9任一所述的一种多晶硅热场坩埚用辅助器具的使用方法，其特征在于，包括以下步骤：

步骤一：将竖板（3）伸入要提取的坩埚（6）内，可使得竖板（3）的底端与坩埚（6）底面接触，接通双轴电机（15）的电源，控制齿轮转动，驱动第一安装柱（2）两侧的活动板（8）反向运动；

步骤二：两块活动板（8）向靠近坩埚（6）内壁的方向运动，直至两块活动板（8）末端的压板（9）抵紧在坩埚（6）内壁上，双轴电机（15）停止工作；

步骤三：向上提起本装置，从而带动坩埚（6）移动，即完成坩埚（6）的提取工作。