[发明专利]一种蒸发源组件有效
| 申请号： | 201911143930.1 | 申请日： | 2019-11-20 |
| 公开（公告）号： | CN110791731B | 公开（公告）日： | 2022-05-06 |
| 发明（设计）人： | 李志荣;谢志生;马亮 | 申请（专利权）人： | 信利（仁寿）高端显示科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/24 | 分类号： | C23C14/24;C23C14/12 |
| 代理公司： | 广州粤高专利商标代理有限公司 44102 | 代理人： | 刘爱珍 |
| 地址： | 620500 四*** | 国省代码： | 四川;51 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明公开了一种蒸发源组件，其由至少两个蒸发源组成，每个蒸发源包括本体和设置在本体上的喷嘴，其中至少一个所述的蒸发源的喷嘴上端面高于其它蒸发源的喷嘴上端面。本申请，可通过使蒸镀速率较小的喷嘴上端面所处高度高过蒸镀速率较大的喷嘴上端面所处高度，使速率较大的喷嘴气流协助速率较小的喷嘴气流的升华，从而促进不同材料气体的掺杂，提高掺杂材料的利用率，降低蒸镀成本。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 蒸发 组件 | ||
【主权项】：
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