[发明专利]一种卸载装置及化学机械抛光辅助设备在审
| 申请号： | 201911140007.2 | 申请日： | 2019-11-20 |
| 公开（公告）号： | CN110682204A | 公开（公告）日： | 2020-01-14 |
| 发明（设计）人： | 孙强;沈思情;张俊宝;陈猛 | 申请（专利权）人： | 上海超硅半导体有限公司;重庆超硅半导体有限公司 |
| 主分类号： | B24B37/34 | 分类号： | B24B37/34;B24B37/00 |
| 代理公司： | 11332 北京品源专利代理有限公司 | 代理人： | 胡彬 |
| 地址： | 201617 上海市松*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明涉及抛光辅助设备技术领域，尤其涉及一种卸载装置及化学机械抛光辅助设备。本发明提供的卸载装置，包括抛盘、喷淋机构、回收机构、传送机构和卸载机构，喷淋机构包括喷淋槽和多组喷头，回收机构包括回收片盒，传送机构包括传送带，卸载机构包括卸载台和高压水喷头。该卸载装置，通过将抛盘放置在喷淋槽内的传送带上，在传送带能够将抛盘传送至卸载口的过程中，喷头向抛盘上喷射保护液，当传送带将抛盘传送至卸载口处时，卸载台向上运动以将抛盘顶升起来并与传送带分离，并使抛盘与回收片盒的开口相对，高压水喷头将抛盘上的产品喷射入回收片盒内，实现了使抛盘上的产品在卸载过程一直处于湿润状态，便于产品后续的清洗操作。 | ||
| 搜索关键词： | 抛盘 传送带 回收片盒 卸载装置 喷头 高压水喷头 传送机构 辅助设备 回收机构 喷淋机构 卸载机构 喷淋槽 卸载口 卸载台 喷射 传送 化学机械抛光 开口相对 清洗操作 湿润状态 向上运动 卸载过程 抛光 保护液 顶升 | ||
【主权项】：
1.一种卸载装置，包括抛盘(100)，所述抛盘(100)被配置为用于放置产品，其特征在于，所述卸载装置还包括：/n喷淋机构，包括喷淋槽(11)和多组喷头(12)，所述喷淋槽(11)上开设有卸载口(111)，多组所述喷头(12)沿水平方向排列悬置在所述喷淋槽(11)的上方且能够向所述喷淋槽(11)内喷射保护液；/n回收机构，包括回收片盒(21)，所述回收片盒(21)的开口与所述卸载口(111)相对设置；/n传送机构，包括传送带(31)，所述传送带(31)部分设置在所述喷淋槽(11)内，所述抛盘(100)设置在所述传送带(31)上，所述传送带(31)能够将所述抛盘(100)传送至所述卸载口(111)；/n卸载机构，包括卸载台(41)和高压水喷头(42)，所述卸载台(41)能够将所述传送带(31)上的所述抛盘(100)推顶升起并与所述传送带(31)分离，所述高压水喷头(42)能够将所述抛盘(100)上的产品冲射入所述回收片盒(21)内。/n
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