[发明专利]一种铝合金靶材的制备方法有效
申请号: | 201911138528.4 | 申请日: | 2019-11-19 |
公开(公告)号: | CN110904364B | 公开(公告)日: | 2021-02-19 |
发明(设计)人: | 蔡新志;童培云;朱刘;黄宇彬;郭庆生;何坤鹏;冉成义 | 申请(专利权)人: | 先导薄膜材料(广东)有限公司 |
主分类号: | C22C21/00 | 分类号: | C22C21/00;C22C1/02;C22F1/04;C23C14/34;B23P15/00 |
代理公司: | 广州三环专利商标代理有限公司 44202 | 代理人: | 颜希文 |
地址: | 511517 广东省清*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | 本发明提供了一种铝合金靶材的制备方法,所述方法将铝和钪熔炼并且精炼后铸型得到圆柱形铝钪合金;将得到的圆柱形铝钪合金在450~650℃下保温后进行热加工,所述热加工包括至少一个循环热轧,每个循环热轧的道次为4个道次,每个循环热轧中热轧的方向依次为第一道次热轧的方向随机,第二道次热轧的方向以第一道次热轧的方向为基准逆时针旋转85~95度,第三道次热轧的方向以第二道次热轧的方向为基准顺时针旋转40~50度,第四道次热轧的方向以第三道次热轧的方向为基准顺时针旋转85~95度;然后进行矫平、机加工调整。本发明的制备方法通过控制热轧过程中的热轧道次的方向,提高了圆形靶坯的圆整度,降低了后续加工过程中的切割损失,降低了铝合金靶材的生产成本。 | ||
搜索关键词: | 一种 铝合金 制备 方法 | ||
【主权项】:
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