[发明专利]一种石墨烯辅助制备大面积金属纳米颗粒阵列的工艺方法有效
| 申请号： | 201911136443.2 | 申请日： | 2019-11-19 |
| 公开（公告）号： | CN110844876B | 公开（公告）日： | 2022-06-24 |
| 发明（设计）人： | 徐晨;董毅博;解意洋;孙捷;胡良臣 | 申请（专利权）人： | 北京工业大学 |
| 主分类号： | B81B7/04 | 分类号： | B81B7/04;B81C1/00 |
| 代理公司： | 北京思海天达知识产权代理有限公司 11203 | 代理人： | 张立改 |
| 地址： | 100124 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 一种石墨烯辅助制备大面积金属纳米颗粒阵列的工艺方法，属于微纳加工领域。本发明在传统工艺的基础上，首先采用表面周期性处理工艺，在衬底101表面制备出一个个纳米柱106，其目的是将金属原子102的注入区域分隔开，转移石墨烯105并退火，退火过程中金属原子102团聚成金属纳米颗粒103。石墨烯105起到了完美的阻挡层作用，阻止金属原子102的蒸发。因此，退火温度可以远高于传统工艺中的退火温度。此外，表面周期性处理使得金属纳米颗粒呈现规则排列，这样能够获得结构排列可调的金属纳米颗粒阵列。同时，制备出的石墨烯被金属纳米颗粒保护，阻隔其与空气的接触，有效保证了金属纳米颗粒的长期性质稳定。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 石墨 辅助 制备 大面积 金属 纳米 颗粒 阵列 工艺 方法 | ||
【主权项】：
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