[发明专利]一种具有防静电性能的AZO膜层包覆沸石分子筛的分子污染吸附材料制备方法和吸附装置有效
| 申请号： | 201911134571.3 | 申请日： | 2019-11-19 |
| 公开（公告）号： | CN110681349B | 公开（公告）日： | 2020-10-16 |
| 发明（设计）人： | 吴晓宏;宫向华;李杨;卢松涛;秦伟 | 申请（专利权）人： | 哈尔滨工业大学 |
| 主分类号： | B01J20/18 | 分类号： | B01J20/18;B01D53/02;B01J20/30 |
| 代理公司： | 哈尔滨市阳光惠远知识产权代理有限公司 23211 | 代理人： | 李恩庆 |
| 地址： | 150001 黑龙*** | 国省代码： | 黑龙江;23 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： |
一种具有防静电性能的AZO膜层包覆沸石分子筛的分子污染吸附材料的制备方法和吸附装置，属于分子清洁技术领域。本发明为解决现有有机小分子污染物会凝结并沉积在各敏感元件表面，极易受到静电影响而导致载荷失效的问题。本发明以沸石分子筛为核、原子层沉积法制备的AZO为壳，获得AZO膜层包覆沸石分子筛的分子污染吸附材料。AZO中Al的掺杂对氧化锌晶体结构和载流子传输产生显著影响，使氧化锌获得较好的导电性，载荷敏感表面积累的静电可在此材料上可以安全释放，起到较好的防静电功能。本发明制得的分子污染吸附材料对有机气体的吸附量达到14.6mg·g |
||
| 搜索关键词： | 一种 具有 静电 性能 azo 膜层包覆沸石 分子筛 分子 污染 吸附 材料 制备 方法 装置 | ||
【主权项】：
1.一种具有防静电性能的AZO膜层包覆沸石分子筛的分子污染吸附材料的制备方法，其特征在于：该方法的操作步骤为：/n步骤1，将球形沸石分子筛进行加热干燥处理；/n步骤2，将步骤1处理后的沸石分子筛放在原子层沉积仪的沉积腔体内，进行沸石分子筛表面的掺铝氧化锌膜层原子层周期沉积生长；/n其中，原子层沉积生长周期为操作过程为：1)向原子层沉积仪的沉积腔体内以脉冲形式注入锌源，脉冲时间t
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于哈尔滨工业大学，未经哈尔滨工业大学许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201911134571.3/，转载请声明来源钻瓜专利网。
