[发明专利]可镀多层膜可往返多室多功能卷对卷镀膜机在审
| 申请号： | 201911131261.6 | 申请日： | 2019-11-19 |
| 公开（公告）号： | CN110699658A | 公开（公告）日： | 2020-01-17 |
| 发明（设计）人： | 朱刚毅;朱刚劲;朱文廓 | 申请（专利权）人： | 广东腾胜科技创新有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/56 | 分类号： | C23C14/56;C23C14/24;C23C14/32;C23C14/35 |
| 代理公司： | 44245 广州市华学知识产权代理有限公司 | 代理人： | 官国鹏 |
| 地址： | 526000 广东省肇庆市三榕*** | 国省代码： | 广东;44 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明涉及可镀多层膜可往返多室多功能卷对卷镀膜机，包括用于卷绕基材的卷绕系统和依次设置的收放卷室、隔膜阀、蒸发镀膜室、等离子放电镀膜室、隔膜阀、收放卷室；卷绕系统包括收放卷辊和镀膜辊；两个收放卷室内均设有收放卷辊，蒸发镀膜室内和等离子放电镀膜室内均设有镀膜辊，从第一个收放卷辊出来的基材依次经过隔膜阀、蒸发镀膜室内的镀膜辊、等离子放电镀膜室的镀膜辊、隔膜阀、第二个收放卷辊；蒸发镀膜室内配置有蒸发镀膜系统，蒸发镀膜系统的喷射方向朝向基材，等离子放电镀膜室内配置有等离子放电成膜系统。镀膜机可同时进行蒸发镀膜和等离子放电成膜，实现一次可镀多层膜，属于真空镀膜设备技术领域。 | ||
| 搜索关键词： | 蒸发镀膜 等离子放电 收放卷辊 室内 镀膜辊 隔膜阀 收放卷 卷绕系统 镀膜机 镀膜室 多层膜 镀膜 基材 真空镀膜设备 成膜系统 卷绕基材 喷射方向 依次设置 卷对卷 成膜 多室 配置 往返 | ||
【主权项】：
1.可镀多层膜可往返多室多功能卷对卷镀膜机，其特征在于：包括用于卷绕基材的卷绕系统和依次设置的收放卷室、隔膜阀、蒸发镀膜室、等离子放电镀膜室、隔膜阀、收放卷室；卷绕系统包括收放卷辊和镀膜辊；两个收放卷室内均设有收放卷辊，蒸发镀膜室内和等离子放电镀膜室内均设有镀膜辊，从第一个收放卷辊出来的基材依次经过隔膜阀、蒸发镀膜室内的镀膜辊、等离子放电镀膜室的镀膜辊、隔膜阀、第二个收放卷辊；蒸发镀膜室内配置有蒸发镀膜系统，蒸发镀膜系统的喷射方向朝向基材，等离子放电镀膜室内配置有等离子放电成膜系统，等离子放电成膜系统的喷射方向朝向基材。/n
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于广东腾胜科技创新有限公司，未经广东腾胜科技创新有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201911131261.6/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：一种立式磁控溅射彩膜生产线装置
- 下一篇：连续式真空镀膜设备
- 同类专利
- 专利分类
