[发明专利]可镀多层膜可往返多室多功能卷对卷镀膜机

说明书

本发明涉及可镀多层膜可往返多室多功能卷对卷镀膜机，包括用于卷绕基材的卷绕系统和依次设置的收放卷室、隔膜阀、蒸发镀膜室、等离子放电镀膜室、隔膜阀、收放卷室；卷绕系统包括收放卷辊和镀膜辊；两个收放卷室内均设有收放卷辊，蒸发镀膜室内和等离子放电镀膜室内均设有镀膜辊，从第一个收放卷辊出来的基材依次经过隔膜阀、蒸发镀膜室内的镀膜辊、等离子放电镀膜室的镀膜辊、隔膜阀、第二个收放卷辊；蒸发镀膜室内配置有蒸发镀膜系统，蒸发镀膜系统的喷射方向朝向基材，等离子放电镀膜室内配置有等离子放电成膜系统。镀膜机可同时进行蒸发镀膜和等离子放电成膜，实现一次可镀多层膜，属于真空镀膜设备技术领域。

技术领域

本发明涉及真空镀膜设备技术领域，具体涉及可镀多层膜可往返多室多功能卷对卷镀膜机。

背景技术

目前的多功能卷绕镀膜方法，是可以采用不同类型的镀膜方式，这些不同类型的镀膜设备可以镀不同的膜层，但这些不同类型的镀膜设备不能同时使用，需根据各自镀膜设备的镀膜方法将相应的部件拆下才能实现，只适用于实验室或小批量试产。

发明内容

针对现有技术中存在的技术问题，本发明的目的是：提供可镀多层膜可往返多室多功能卷对卷镀膜机，可同时进行蒸发镀膜和等离子放电成膜，实现一次可镀多层膜。

为了达到上述目的，本发明采用如下技术方案：

可镀多层膜可往返多室多功能卷对卷镀膜机，包括用于卷绕基材的卷绕系统和依次设置的收放卷室、隔膜阀、蒸发镀膜室、等离子放电镀膜室、隔膜阀、收放卷室；卷绕系统包括收放卷辊和镀膜辊；两个收放卷室内均设有收放卷辊，蒸发镀膜室内和等离子放电镀膜室内均设有镀膜辊，从第一个收放卷辊出来的基材依次经过隔膜阀、蒸发镀膜室内的镀膜辊、等离子放电镀膜室的镀膜辊、隔膜阀、第二个收放卷辊；蒸发镀膜室内配置有蒸发镀膜系统，蒸发镀膜系统的喷射方向朝向基材，等离子放电镀膜室内配置有等离子放电成膜系统，等离子放电成膜系统的喷射方向朝向基材。

进一步的是：卷绕系统还包括多组引导辊组，第一个收放卷辊和第一个镀膜辊之间设有引导辊组，两个镀膜辊之间设有引导辊组，第二个收放卷辊和第二个镀膜辊之间设有引导辊组。

进一步的是：蒸发镀膜室内设有隔板，蒸发镀膜系统位于隔板和蒸发镀膜室围成的密闭真空空间内；等离子放电镀膜室内设有隔板，等离子放电成膜系统位于隔板和等离子放电镀膜室围成的密闭真空空间内。

进一步的是：等离子放电镀膜室内设有多块隔板，等离子放电成膜系统有多套，等离子放电成膜系统位于由隔板和等离子放电镀膜室围成的密闭真空空间内，且每套等离子放电成膜系统位于单独的密闭真空空间内。

进一步的是：蒸发镀膜室内配置有至少一套等离子放电成膜系统，等离子放电成膜系统位于由隔板和蒸发镀膜室围成的密闭真空空间内，且等离子放电成膜系统和蒸发镀膜系统位于相互独立的密闭真空空间内，每套等离子放电成膜系统位于单独的密闭真空空间内。

进一步的是：蒸发镀膜室和等离子放电镀膜室之间设置有连通室。

进一步的是：蒸发镀膜系统为电子束蒸发镀膜系统、电阻蒸发镀膜系统或者直式电子枪蒸发镀膜系统。

进一步的是：等离子放电成膜系统为多弧离子镀膜系统或者磁控溅射镀膜系统。

总的说来，本发明具有如下优点：