[发明专利]一种高效环保碳化硅抛光液及其制备方法和应用在审
| 申请号： | 201911128133.6 | 申请日： | 2019-11-18 |
| 公开（公告）号： | CN110922896A | 公开（公告）日： | 2020-03-27 |
| 发明（设计）人： | 孙韬 | 申请（专利权）人： | 宁波日晟新材料有限公司 |
| 主分类号： | C09G1/02 | 分类号： | C09G1/02 |
| 代理公司： | 宁波知坤专利代理事务所(特殊普通合伙) 33312 | 代理人： | 朱玉泉 |
| 地址： | 315410 浙*** | 国省代码： | 浙江;33 |
| 权利要求书： | 暂无信息 | 说明书： | 暂无信息 |
| 摘要： | 本发明公开了一种高效环保碳化硅抛光液，所述抛光液由以下含量的原料组成：抛光剂颗粒0.1‑40%wt；卤素化合物当量浓度为0.01M‑5M；可与卤素形成非挥发性络合分子的络合剂当量浓度为0.01M‑10M；氧化剂当量数小于卤素化合物的当量数；余量为去离子水；并采用pH调节剂将所述抛光液的pH值调节至10‑12.5。本发明的抛光液，解决了含氧化剂的碳化硅抛光液稳定性以及抛光液中含有的重金属对环境造成的污染问题；同时，具有切削率高，表面质量稳定，循环使用寿命长，易于长期储存的特点。本发明还公开了一种高效环保碳化硅抛光液的制备方法和用途。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 高效 环保 碳化硅 抛光 及其 制备 方法 应用 | ||
【主权项】：
暂无信息
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