[发明专利]一种脉冲激光高速同点间隔多次加工系统及加工方法

摘要

本发明提供了一种脉冲激光高速同点间隔多次加工系统及加工方法，包括激光光源、偏转模块、聚焦模块和控制系统；所述脉冲激光经过偏转模块和聚焦模块后射入加工面；所述偏转模块用于将脉冲激光偏转射入聚焦模块；所述控制系统输出加工形貌所需要的脉冲激光参数、形貌加工过程中焦点偏移量对应的偏转模块控制信号的集合和系统输出频率；所述控制系统根据形貌加工过程中焦点偏移量对应的偏转模块控制信号的集合和系统输出频率控制所述偏转模块。本发明通过同点间隔多次的加工方法，不仅有效规避了负面热效应累积，还能精确控制加工形貌，实现直线凹槽的高精度加工，兼顾加工效率和加工质量。