[发明专利]环境控制设备及芯片测试系统在审
申请号: | 201911106204.2 | 申请日: | 2019-11-13 |
公开(公告)号: | CN112798922A | 公开(公告)日: | 2021-05-14 |
发明(设计)人: | 蔡振龙;基因·罗森塔尔 | 申请(专利权)人: | 第一检测有限公司 |
主分类号: | G01R31/28 | 分类号: | G01R31/28;G01R31/317 |
代理公司: | 隆天知识产权代理有限公司 72003 | 代理人: | 黄艳 |
地址: | 美国加利*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | 本发明公开一种环境控制设备及芯片测试系统。环境控制设备的设备本体具有多个容置室,各容置室设置有一个温度调节装置。各温度调节装置包含温度调节器、接触结构、框体及弹性环形密封件。当承载有多个芯片的芯片测试装置设置于容置室中,且接触结构与多个芯片的一侧接触时,弹性环形密封件将对应抵压于芯片测试装置,而芯片测试装置与接触结构之间将形成有封闭空间。与环境控制设备连接的抽气装置能将封闭空间中的空气向外抽出,且温度调节器能对应调整接触结构的温度,以使各个芯片在特定的温度环境中,被芯片测试装置进行预定测试程序。 | ||
搜索关键词: | 环境 控制 设备 芯片 测试 系统 | ||
【主权项】:
暂无信息
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