[发明专利]一种短相干泰曼干涉的色散补偿方法及测量装置在审
| 申请号： | 201911103516.8 | 申请日： | 2019-11-13 |
| 公开（公告）号： | CN110595352A | 公开（公告）日： | 2019-12-20 |
| 发明（设计）人： | 朱秋东;苑静;张喆民;王姗姗;刘彬;王伟志 | 申请（专利权）人： | 北京奥博泰测控技术有限公司 |
| 主分类号： | G01B9/02 | 分类号： | G01B9/02 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 102400 北京市房*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种短相干泰曼干涉的色散补偿方法及测量装置。色散补偿方法为在短相干泰曼干涉仪中设置可旋转的细调补偿板和可更换的粗调补偿板，通过旋转细调补偿板改变其法线方向与所在光路光轴的夹角大小和更换不同厚度的粗调补偿板，实现参考光和测试光之间各波长光程差为零，进行色散补偿。本发明操作方便，可实现连续可调测量不同厚度透明平板样品的透射波像差。 | ||
| 搜索关键词： | 补偿板 色散补偿 相干 粗调 细调 透射波像差 测量装置 法线方向 光路光轴 可旋转的 连续可调 透明平板 波长光 参考光 测试光 干涉仪 可更换 程差 测量 干涉 | ||
【主权项】：
1.一种短相干泰曼干涉的色散补偿方法，其特征在于，在短相干泰曼干涉仪中设置可旋转的细调补偿板和可更换的粗调补偿板，通过旋转所述细调补偿板改变其法线方向与所在光路光轴的夹角大小和更换不同厚度的所述粗调补偿板，实现参考光和测试光之间各波长光程差为零，进行色散补偿，其中：所述细调补偿板和所述粗调补偿板均与被测透明平板样品具有相同色散特性。/n
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