[发明专利]具有PMNPT层的压电装置的制造在审
| 申请号： | 201911101682.4 | 申请日： | 2019-11-12 |
| 公开（公告）号： | CN112864304A | 公开（公告）日： | 2021-05-28 |
| 发明（设计）人： | 阿比吉特·拉克斯曼·桑格尔;维杰·班·夏尔马;薛元;乌代·派;巴拉特瓦·罗摩克里希南;安库·卡达姆 | 申请（专利权）人： | 应用材料公司 |
| 主分类号： | H01L41/187 | 分类号： | H01L41/187;H01L41/316;H01L41/277 |
| 代理公司： | 北京律诚同业知识产权代理有限公司 11006 | 代理人： | 徐金国;赵静 |
| 地址： | 美国加利*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 一种压电装置，包括：基板；位于所述基板上的热氧化物层；位于所述热氧化物层上的金属或金属氧化物粘附层；位于所述金属氧化物粘附层上的下部电极；位于所述下部电极上的种晶层；位于所述种晶层上的铌镁酸铅‑钛酸铅(PMNPT)压电层；和位于所述PMNPT压电层上的上部电极。 | ||
| 搜索关键词： | 具有 pmnpt 压电 装置 制造 | ||
【主权项】：
暂无信息
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