[发明专利]一种用于去除尾气中硅粉的系统在审
| 申请号： | 201911101649.1 | 申请日： | 2019-11-12 |
| 公开（公告）号： | CN110694388A | 公开（公告）日： | 2020-01-17 |
| 发明（设计）人： | 罗周;向春林;明勇;宋垒 | 申请（专利权）人： | 四川永祥新能源有限公司 |
| 主分类号： | B01D46/24 | 分类号： | B01D46/24;B01D46/42;B01D46/44;B01D46/48 |
| 代理公司： | 11227 北京集佳知识产权代理有限公司 | 代理人： | 林哲生 |
| 地址： | 614800 四川*** | 国省代码： | 四川;51 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种用于去除尾气中硅粉的系统，包括过滤装置和收集装置，所述过滤装置用于将尾气中的硅粉过滤出，所述收集装置用于收集所述过滤装置过滤出的硅粉；所述过滤装置和所述收集装置之间通过连通管连通，所述连通管上设置有第一阀门，所述第一阀门用于控制所述连通管的导通和截止。在本发明中，使包含有氯硅烷、氯化氢以及氢气的尾气通入过滤装置中，过滤装置将尾气中的硅粉过滤出，从而实现硅粉与氯硅烷、氯化氢以及氢气的分离。之后开启连通管上的第一阀门，从而使过滤出的硅粉通过连通管进入到收集装置中，从而实现了对硅粉的收集。本发明中的系统不仅能够将尾气中的硅粉过滤出，而且还能够将过滤出的硅粉进行收集。 | ||
| 搜索关键词： | 硅粉 过滤装置 连通管 过滤 收集装置 尾气 阀门 氢气 氯硅烷 氯化氢 导通 去除 连通 截止 | ||
【主权项】：
1.一种用于去除尾气中硅粉的系统，其特征在于，包括过滤装置和收集装置，所述过滤装置用于将尾气中的硅粉过滤出，所述收集装置用于收集所述过滤装置过滤出的硅粉；所述过滤装置和所述收集装置之间通过连通管(5)连通，所述连通管(5)上设置有第一阀门(4)，所述第一阀门(4)用于控制所述连通管(5)的导通和截止。/n
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