[发明专利]一种用于去除尾气中硅粉的系统

说明书

本发明公开了一种用于去除尾气中硅粉的系统，包括过滤装置和收集装置，所述过滤装置用于将尾气中的硅粉过滤出，所述收集装置用于收集所述过滤装置过滤出的硅粉；所述过滤装置和所述收集装置之间通过连通管连通，所述连通管上设置有第一阀门，所述第一阀门用于控制所述连通管的导通和截止。在本发明中，使包含有氯硅烷、氯化氢以及氢气的尾气通入过滤装置中，过滤装置将尾气中的硅粉过滤出，从而实现硅粉与氯硅烷、氯化氢以及氢气的分离。之后开启连通管上的第一阀门，从而使过滤出的硅粉通过连通管进入到收集装置中，从而实现了对硅粉的收集。本发明中的系统不仅能够将尾气中的硅粉过滤出，而且还能够将过滤出的硅粉进行收集。

技术领域

本发明涉及多晶硅生产领域，更具体地说，涉及一种用于去除尾气中硅粉的系统。

背景技术

在多晶硅的生产中会产生掺杂有硅粉的尾气。该尾气的成份包括：氯硅烷、氯化氢以及氢气。如果硅粉随着尾气进入到后续的尾气处理系统，那么硅粉很可能会堵塞尾气管道，从而导致生产效率下降。另外，硅粉直接被排出会造成硅粉的浪费。

因此，如何设计一种用于去除尾气中硅粉的系统，该系统能够去除尾气中的硅粉，同时能够将硅粉收集起来，是本领域技术人员亟待解决的关键性问题。

发明内容

本发明的目的是提供一种用于去除尾气中硅粉的系统，该系统能够去除尾气中的硅粉，同时能够将硅粉收集起来。为实现上述目的，本发明提供如下技术方案：

一种用于去除尾气中硅粉的系统，包括过滤装置和收集装置，所述过滤装置用于将尾气中的硅粉过滤出，所述收集装置用于收集所述过滤装置过滤出的硅粉；所述过滤装置和所述收集装置之间通过连通管连通，所述连通管上设置有第一阀门，所述第一阀门用于控制所述连通管的导通和截止。

优选地，所述第一阀门受控于控制器，所述控制器根据设定的时间值来控制所述第一阀门的启闭。

优选地，所述过滤装置包括第一壳体，所述第一壳体中设置有第一滤芯，所述第一滤芯用于阻拦硅粉；

所述第一壳体上设置有进口和出口，所述进口位于所述第一滤芯的下方，所述出口位于所述第一滤芯的上方，尾气从所述进口进入所述第一壳体，经过所述第一滤芯的过滤后从所述出口流出。

优选地，所述过滤装置还包括吹扫设备，所述吹扫设备用于将所述第一滤芯上的硅粉吹落，所述吹扫设备的吹扫口位于所述第一滤芯的上方。

优选地，经所述第一滤芯过滤后的尾气再经过冷凝器冷凝，分离出的氢气进入到所述吹扫设备中。

优选地，所述第一壳体的底部为锥状，该锥状的底部供硅粉的聚集。

优选地，所述第一壳体的底部内设置有第一加热器。

优选地，所述收集装置包括第二壳体，所述第二壳体和所述第一壳体通过所述连通管连通，所述第二壳体的底部端面连通有排出管，所述排出管上设置有第二阀门。

优选地，所述第二壳体的底部为锥状，该锥状的底部供硅粉的聚集。

优选地，所述第二壳体的底部内设置有第二加热器。

优选地，所述收集装置还包括第三壳体，所述三壳体位于所述第二壳体的上方，且所述三壳体与所述第二壳体相通，所述第三壳体内设置有第二滤芯，所述第二滤芯用于阻拦尾气中的硅粉，该尾气来自于所述第一壳体，所述三壳体的顶部设置有出口，所述出口供经过所述第二滤芯过滤后的尾气排出。

优选地，所述第二壳体的底部还设置有进口，置换气体从所述进口进入到所述第二壳体内，迫使所述第二壳体中的尾气经过所述第二滤芯后排出。

优选地，所述置换气体为氮气。