[发明专利]基于微机电系统的相变材料驱动的气体流量调节阀在审
| 申请号： | 201911100856.5 | 申请日： | 2019-11-12 |
| 公开（公告）号： | CN110906053A | 公开（公告）日： | 2020-03-24 |
| 发明（设计）人： | 王平阳;赵星霖;杭观荣;戴佳;李林 | 申请（专利权）人： | 上海交通大学;上海空间推进研究所 |
| 主分类号： | F16K31/64 | 分类号： | F16K31/64 |
| 代理公司： | 上海汉声知识产权代理有限公司 31236 | 代理人： | 胡晶 |
| 地址： | 200240 *** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种基于微机电系统的相变材料驱动的气体流量调节阀，包括基座、加热片、加热器、相变材料、变形片、出口片以及电极，所述出口片、变形片、相变材料、加热器、加热片、基座依次连接；基座上设置有基座通孔，加热片上设置有加热片通孔，变形片上设置有变形片凹槽以及变形片通孔，出口片上设置有控制空间以及与控制空间相连通的流量孔，其中，基座通孔、加热片通孔、变形片通孔、控制空间、流量孔依次相连通，通过给加热器通电加热使相变材料膨胀从而驱使变形片向靠近流量孔的方向发生弹性形变从而实现气体流量的控制。本发明工艺简单，体积小，响应时间快，控制电压小，实现了自动化的流量控制。 | ||
| 搜索关键词： | 基于 微机 系统 相变 材料 驱动 气体 流量 调节 | ||
【主权项】：
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