[发明专利]医疗杀菌消毒用外延结构制备方法在审
申请号: | 201911096758.9 | 申请日: | 2019-11-11 |
公开(公告)号: | CN110828621A | 公开(公告)日: | 2020-02-21 |
发明(设计)人: | 李丹丹 | 申请(专利权)人: | 李丹丹 |
主分类号: | H01L33/00 | 分类号: | H01L33/00;H01L33/06;H01L33/14;H01L33/32 |
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地址: | 232052 安徽省淮南*** | 国省代码: | 安徽;34 |
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摘要: | 本发明提供了一种医疗杀菌消毒用外延结构制备方法,包括:提供一置于托盘上的基板;在所述基板上生长过渡层;在所述过渡层上生长第一半导体层;在所述第一半导体层上生长有源层;在所述有源层上生长阻隔层;在所述阻隔层上生长第二半导体层;所述阻隔层包括第一阻隔层、第二阻隔层、第三阻隔层,第一阻隔层生长过程中托盘旋转速度保持恒定,第二阻隔层生长过程中托盘旋转速度逐渐升高,第三阻隔层生长过程中托盘旋转速度逐渐降低。本发明通过将阻隔层设置成三部分,且每一部分使用不同生长条件,三个部分同时构成一整体,提高载子复合效率,增加发光光强,制得的外延结构更适用于杀菌消毒,具有更佳的使用效果。 | ||
搜索关键词: | 医疗 杀菌 消毒 外延 结构 制备 方法 | ||
【主权项】:
暂无信息
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