[发明专利]一种检测设备及检测方法在审
| 申请号： | 201911095201.3 | 申请日： | 2019-11-11 |
| 公开（公告）号： | CN112782175A | 公开（公告）日： | 2021-05-11 |
| 发明（设计）人： | 陈鲁;张龙;黄有为 | 申请（专利权）人： | 深圳中科飞测科技股份有限公司 |
| 主分类号： | G01N21/88 | 分类号： | G01N21/88;G01N21/89;G01B11/00;G01B11/06;G01B11/30 |
| 代理公司： | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人： | 周晓 |
| 地址： | 518109 广东省深圳市龙华区大浪街*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种检测设备及检测方法。检测设备包括第一检测系统和第二检测系统，第一检测系统的照明装置发出的第一检测光在待测物表面形成第一光斑，第一检测系统的第一探测装置用于接收第一检测光经待测物表面形成的第一信号光；第二检测系统的照明装置发出的第二检测光在待测物表面形成第二光斑，第二检测系统的第二探测装置用于接收第二检测光经待测物表面形成的第二信号光；第二光斑的亮度大于第一光斑的亮度。检测方法为：通过第一检测系统对待测物表面进行第一检测处理，获取待测物表面的缺陷的尺寸；当缺陷的尺寸小于或等于预设值时，通过第二检测系统对待测物表面进行第二检测处理。该检测设备及检测方法具有较高的检测效率。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 检测 设备 方法 | ||
【主权项】：
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