[发明专利]一种减少闪存流片中使用的光罩数量的方法及其应用

摘要

本发明涉及半导体制造技术领域，公开了一种减少闪存流片中使用的光罩数量的方法及其应用，方法包括采集闪存流片中现有光罩组的各光罩参数，并按照光罩标识号、光罩类型、封膜类型、光罩等级、图形明暗、图形种类参数进行分类，将光罩类型、封膜类型、图形明暗、图形种类参数一致的光罩进行合并，汇同未合并的光罩形成新光罩组，并依次进行光罩制备，并使用制备好的光罩执行包括曝光、显影、光刻在内的后续流片工艺。本发明极大的减少了光罩成本，适用于需要制作少量晶圆情形的新电路的设计开发情况下，可以有效的节约项目的研发成本，本发明具有切实意义上的实用价值。