[发明专利]一种WolterⅠ型非球面反射镜角分辨率检测系统及方法有效
申请号: | 201911094003.5 | 申请日: | 2019-11-11 |
公开(公告)号: | CN110940488B | 公开(公告)日: | 2020-11-17 |
发明(设计)人: | 王鹏;李华;康世发;强鹏飞 | 申请(专利权)人: | 中国科学院西安光学精密机械研究所 |
主分类号: | G01M11/00 | 分类号: | G01M11/00;G01M11/02 |
代理公司: | 西安智邦专利商标代理有限公司 61211 | 代理人: | 唐沛 |
地址: | 710119 陕西省西*** | 国省代码: | 陕西;61 |
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摘要: | 本发明公开了一种WolterⅠ型非球面反射镜角分辨率检测系统及方法。该系统中WolterⅠ型非球面反射镜安装在反射镜安装工装内;激光光源平行光管的出射光路上依次设置反射镜安装工装、CCD相机,CCD相机的靶面与待检测反射镜焦面重合;WolterⅠ型非球面反射镜安装工装安装在二维调整平台上,CCD相机安装在五维调整平台上;上位机与CCD相机电连接;激光光源平行光管发出的平行光,通过第二通光孔入射至内WolterⅠ型非球面反射镜后,再依次经由第一通光孔、第一通孔射出,并聚焦至CCD相机上,CCD相机将得到的图像上传至上位机进行图像处理得到WolterⅠ型非球面反射镜的角分辨率。本发明解决了由于环境因素的干扰以及吊装系统的稳定性差,导致角分辨率的检测结果精度差的问题。 | ||
搜索关键词: | 一种 wolter 球面 反射 分辨率 检测 系统 方法 | ||
【主权项】:
暂无信息
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