[发明专利]一种碳掺杂相变存储材料靶材及其制备方法在审
| 申请号： | 201911079293.6 | 申请日： | 2019-11-07 |
| 公开（公告）号： | CN110846626A | 公开（公告）日： | 2020-02-28 |
| 发明（设计）人： | 宋志棠;宋三年 | 申请（专利权）人： | 中国科学院上海微系统与信息技术研究所 |
| 主分类号： | C23C14/34 | 分类号： | C23C14/34;C22C28/00;H01L45/00 |
| 代理公司： | 广州三环专利商标代理有限公司 44202 | 代理人： | 郝传鑫;贾允 |
| 地址： | 200050 *** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本申请提供一种碳掺杂相变存储材料靶材及其制备方法，该靶材的制备方法包括以下步骤：获取相变原材料；将相变原材料按照化学计量比混合获得第一混合物，将第一混合物在设定温度下加热反应生成相变材料化合物；将相变材料化合物采用高能球磨或者气流磨的方法制成相变材料粉体；将相变材料粉体与石墨烯均匀混合制成第二混合物；将第二混合物通过真空热压烧结工艺制得靶材。如此，采用本申请提供的制备方法制备的靶材组份均一、靶材表面平整、粗糙度小、含氧量低。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 掺杂 相变 存储 材料 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
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