[发明专利]化学机械抛光垫和抛光方法有效
| 申请号： | 201911065344.X | 申请日： | 2019-11-04 |
| 公开（公告）号： | CN111136577B | 公开（公告）日： | 2021-12-07 |
| 发明（设计）人： | M·R·加丁科;M·T·伊斯兰;郭毅;G·C·雅各布 | 申请（专利权）人： | 罗门哈斯电子材料CMP控股股份有限公司 |
| 主分类号： | B24B37/24 | 分类号： | B24B37/24;B24B1/00;H01L21/304 |
| 代理公司： | 上海专利商标事务所有限公司 31100 | 代理人： | 陈哲锋;胡嘉倩 |
| 地址： | 美国特*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种具有在整个表面上具有一致的正ζ电势的抛光层的化学机械抛光垫。还公开了一种使用所述抛光垫连同带正电荷的浆料的化学机械抛光方法。 | ||
| 搜索关键词： | 化学 机械抛光 抛光 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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