[发明专利]一种高透过率条纹变像管加速栅网制备方法有效
| 申请号： | 201911057145.4 | 申请日： | 2019-10-31 |
| 公开（公告）号： | CN110767523B | 公开（公告）日： | 2022-02-18 |
| 发明（设计）人： | 张昆林;谭何盛;杨文波;靳英坤;邓华兵;张世超;冯云祥 | 申请（专利权）人： | 北方夜视技术股份有限公司 |
| 主分类号： | H01J31/50 | 分类号： | H01J31/50;H01J29/04;H01J9/12 |
| 代理公司： | 昆明今威专利商标代理有限公司 53115 | 代理人： | 欧阳桥 |
| 地址： | 650217*** | 国省代码： | 云南;53 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种高透过率条纹变像管加速栅网制备方法。该制备方法包括的步骤有：1)原材料准备、2)镀膜、3)光刻、4)铬的湿法腐蚀、5)铜的湿法腐蚀、6)去铬膜、去胶和7)电镀。本发明的制备方法利用铬与铜的表面粘接性好的特点，具体采用在铜箔表面镀上一层铬、光刻并腐蚀铬做出铬金属掩膜版图案的方法，用金属掩膜图案替代光刻胶掩膜图案，用铬来做铜箔的掩膜，再腐蚀铜箔做出栅网。另外，传统的栅网开口比都在49％以下，本发明设计的栅网开口比在53.8％～68.2％之间，制备出的栅网具有更高的电子透过率。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 透过 条纹 变像管 加速 制备 方法 | ||
【主权项】：
1.一种高透过率条纹变像管加速栅网制备方法，其特征在于包括以下步骤：/n1)原材料准备，包括光刻掩膜版、3～6μm厚的铜箔、将铜箔用光刻胶和圆柱滚压工具平整粘覆在玻璃基底上；/n2)镀膜，包括在铜箔的表面蒸镀铬和对铬的表面进行等离子体清刷；/n3)光刻，包括先在铬表面涂覆一层增粘剂底胶液再均匀涂覆一层光刻胶、前烘、光刻、显影和坚膜；/n4)铬的湿法腐蚀；/n5)铜的湿法腐蚀；/n6)去铬膜、去胶；/n7)将铜栅网表面电镀一层镍。/n
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