[发明专利]一种基于高灵敏度相位型SPR传感器的气体容器泄露的检测装置及其检测方法在审
| 申请号： | 201911040552.4 | 申请日： | 2019-10-29 |
| 公开（公告）号： | CN112747862A | 公开（公告）日： | 2021-05-04 |
| 发明（设计）人： | 何赛灵;刘振超 | 申请（专利权）人： | 亘冠智能技术（杭州）有限公司 |
| 主分类号： | G01M3/04 | 分类号： | G01M3/04;G01N21/552 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 310015 浙江*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本发明提出了一种基于相位型SPR传感器的气体容器泄露的检测装置及其检测方法，可以有效地解决现有技术中配置价格昂贵，灵敏度不够以及检测实时性不够且操作复杂等缺点。系统包括：激光器、起偏器、棱镜相位调制模块、SPR传感模块、SPR传感气室、气压平衡装置（或者抽气装置）、待检测气体容器、检偏器、光强探测器，激光光源发出的光经过起偏器，变成线偏光，经过棱镜相位调制模块，被调制为具有不同相位的椭偏光，再经过SPR传感气室内的SPR传感模块，最后经过检偏器和光强探测器测量并计算得到SPR传感的携带气体折射率信息的相位响应值，最终通过相位响应值的变化来表征气体容器的泄漏状态。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 基于 灵敏度 相位 spr 传感器 气体 容器 泄露 检测 装置 及其 方法 | ||
【主权项】：
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