[发明专利]一种透明样品缺陷自动检测方法和检测装置有效
| 申请号： | 201911040439.6 | 申请日： | 2019-10-29 |
| 公开（公告）号： | CN110715931B | 公开（公告）日： | 2022-04-12 |
| 发明（设计）人： | 杨朝兴 | 申请（专利权）人： | 上海御微半导体技术有限公司 |
| 主分类号： | G01N21/88 | 分类号： | G01N21/88;G01N21/958;G01N21/41;G01N21/45 |
| 代理公司： | 北京品源专利代理有限公司 11332 | 代理人： | 孟金喆 |
| 地址： | 201203 上海市浦东新区中国*** | 国省代码： | 上海;31 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明公开了一种透明样品缺陷自动检测方法和检测装置。该方法包括：根据透明样品的半径r获取照明光束的半径R，照明光束的半径R不小于透明样品的直径2r；将透明样品置于载物台上，透明样品与物镜的中心轴不重合；空间光调制器设置于物镜的像面，并设置为光栅，采集经过空间光调制器后形成的干涉图案；调整空间光调制器的光栅周期至第一检测光栅周期；获得第一干涉图像并获取第一相位分布；移除所述透明样品，获取第二相位分布；根据第一相位分布和第二相位分布获取透明样品的相位分布并计算透明样品的折射率分布。本发明实施例提供的方法能够消除重复图像，更易提取透明样品的折射率分布，实现不同尺寸透明样品的自动检测。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 透明 样品 缺陷 自动检测 方法 检测 装置 | ||
【主权项】：
1.一种透明样品缺陷自动检测方法，其特征在于，包括：/n根据透明样品的半径r获取照明光束的半径R，所述照明光束的半径R不小于所述透明样品的直径2r；/n将透明样品置于载物台上，所述透明样品的中心轴与物镜的中心轴不重合；/n采集所述照明光束经过所述透明样品、空间光调制器后形成的干涉图案；所述空间光调制器放置于物镜的像面，并设置为光栅；/n根据所述干涉图案，调整所述空间光调制器的光栅周期至第一检测光栅周期，以使所述干涉图案中的零级衍射光束与所述一级衍射光束重叠部分包含所述零级衍射光束中携带所述透明样品信息的全部区域，且不包含所述一级衍射光束中携带所述透明样品信息的区域；/n获得所述照明光束经过所述透明样品、所述第一检测光栅周期的空间光调制器光栅后形成的第一干涉图像，并根据所述第一干涉图像获取第一相位分布；/n移除所述透明样品，获取所述照明光束经过所述第一检测光栅周期的空间光调制器光栅后形成的第二干涉图像，并根据所述第二干涉图像获取第二相位分布；/n根据所述第一相位分布和所述第二相位分布获取所述透明样品的相位分布；/n根据所述透明样品的相位分布计算所述透明样品的折射率分布。/n
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于上海御微半导体技术有限公司，未经上海御微半导体技术有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201911040439.6/，转载请声明来源钻瓜专利网。
