[发明专利]一种公转式半导体蒸发台在审
| 申请号： | 201911038291.2 | 申请日： | 2019-10-29 |
| 公开（公告）号： | CN110629169A | 公开（公告）日： | 2019-12-31 |
| 发明（设计）人： | 景苏鹏;黄鹏飞;刘卫平 | 申请（专利权）人： | 苏州华楷微电子有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/30 | 分类号： | C23C14/30;C23C14/56;C23C14/50 |
| 代理公司： | 11531 北京汇捷知识产权代理事务所(普通合伙) | 代理人： | 李宏伟 |
| 地址： | 215600 江苏省苏州市张家港经济技术开发区*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种公转式半导体蒸发台，包括下壳体和上盖，下壳体的内壁上旋转安装有旋转环，该旋转环由旋转动力装置驱动，旋转环上圆周均布若干个载片盖，载片盖的工作面上固定有若干个圆片，载片盖通过自转轴转动安装于固定座上，该固定座通过自锁结构安装于旋转环上，下壳体的内腔上转动安装有取料臂，取料端和固定座之间设置有自锁切换结构，下壳体上设置有偏摆驱动装置，蒸发腔的底部设置有防护罩，载片盖处于蒸发工位时位于防护罩的上端且位于坩埚的正上方，所述上盖上设置有自转动力装置，该自转动力装置驱动蒸发工位的载片盖自转。该蒸发台不但能够保证蒸发图案的精度，而且蒸发效率更高，减少抽真空的时间。 | ||
| 搜索关键词： | 载片 下壳体 旋转环 固定座 防护罩 蒸发 自转动力装置 转动安装 蒸发台 工位 上盖 偏摆驱动装置 旋转动力装置 驱动 旋转安装 蒸发效率 自锁结构 抽真空 取料臂 蒸发腔 自转轴 上端 自转 均布 内壁 内腔 取料 圆片 自锁 坩埚 半导体 图案 保证 | ||
【主权项】：
1.一种公转式半导体蒸发台，包括下壳体和上盖，下壳体和上盖之间的内部空间形成了蒸发腔，该蒸发腔的底部设置有用于放置金属的坩埚，所述外壳的底部设置有电子束发生装置和对蒸发腔进行抽真空的抽真空装置，其特征在于：所述下壳体的内壁上旋转安装有旋转环，该旋转环由旋转动力装置驱动，所述旋转环上圆周均布若干个载片盖，每个载片盖工作面朝向内侧，载片盖的工作面上固定有若干个圆片，所述载片盖的外侧通过自转轴转动安装于固定座上，该固定座通过可松开或者锁紧的自锁结构安装于旋转环上，所述下壳体的内腔上转动安装有取料臂，该取料臂的摆动中心线与旋转环的直径共线且位于旋转环的外侧，所述取料臂的取料端位于旋转环的四分之一圆处，该取料端和固定座之间设置有将所述自锁结构切换使固定座与与取料端固定的自锁切换结构，下壳体上设置有驱动取料臂从取盖工位偏摆至蒸发工位的偏摆驱动装置，所述蒸发腔的底部设置有防护罩，载片盖处于蒸发工位时位于防护罩的上端且位于坩埚的正上方，所述上盖上设置有自转动力装置，该自转动力装置驱动蒸发工位的载片盖自转。/n
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