[发明专利]一种公转式半导体蒸发台

说明书

本发明公开了一种公转式半导体蒸发台，包括下壳体和上盖，下壳体的内壁上旋转安装有旋转环，该旋转环由旋转动力装置驱动，旋转环上圆周均布若干个载片盖，载片盖的工作面上固定有若干个圆片，载片盖通过自转轴转动安装于固定座上，该固定座通过自锁结构安装于旋转环上，下壳体的内腔上转动安装有取料臂，取料端和固定座之间设置有自锁切换结构，下壳体上设置有偏摆驱动装置，蒸发腔的底部设置有防护罩，载片盖处于蒸发工位时位于防护罩的上端且位于坩埚的正上方，所述上盖上设置有自转动力装置，该自转动力装置驱动蒸发工位的载片盖自转。该蒸发台不但能够保证蒸发图案的精度，而且蒸发效率更高，减少抽真空的时间。

技术领域

本发明涉及一种蒸发台，属于半导体技术领域，尤其涉及一种一种公转式半导体蒸发台。

背景技术

蒸发台是一种常用的半导体设备，其主要结构包括下壳体和上盖，下壳体和上盖之间的内部空间形成了蒸发腔，该蒸发腔的底部设置有用于放置金属的坩埚，所述外壳的底部设置有电子束发生装置和对蒸发腔进行抽真空的抽真空装置，蒸发腔内设置有载片盖，载片盖上用来放置半导体圆片，而目前的蒸发台的蒸发原理是：首先抽真空使蒸发腔保持一定的真空，金属放置在坩埚内，然后电子束发生装置产生高能电子束，并且在磁场的作用下电子束发生运动偏转而直接撞击上坩埚内的金属，金属温度升高而形成金属气体，金属气体上升而在载片盖上的圆片上形成金属膜。而目前的蒸发台有两种形式：1、行星式蒸发台(Planetary)，即在蒸发腔室内安装有一个旋转环，旋转环由上盖上的旋转电机驱动旋转，旋转环上放置了若干个倾斜的载片盖，载片盖由旋转环带动公转的同时，载片盖还自身旋转，这样，金属气体上升就会附着在载片盖的圆片上；2.公转式蒸发台(lift off)，即在上盖上转动安装一个载片盖，载片盖由上盖的旋转电机带动旋转，在蒸发时载片盖处于坩埚的正上方，载片盖上的圆片与坩埚之间的距离相等，金属气体上升就会附着在载片盖的圆片上。上述两种蒸发台分别具有以下优缺点：行星式蒸发台可以一次性蒸发多个载片盖，每个载片盖上又固定了多个圆片，因此，一次性可以蒸发更多的圆片，但是这种蒸发台的蒸发精度不高，由于载片盖在蒸发时是倾斜状态，因此，载片盖上的圆片与坩埚之间的距离是不相等，因此，蒸发得到的金属膜的膜厚可能不均匀。而普通的公转式蒸发台由于所有的圆片均处于坩埚的正上方，距离相等，因此，蒸发得到的图案精度更高，但是由于一次性只能蒸发一个载片盖，需要频繁的开盖，频繁抽真空，而抽真空的时间比蒸发时间要更长，因此，这种公转式蒸发台的效率非常低。

发明内容

本发明所要解决的技术问题是：提供一种公转式半导体蒸发台，该蒸发台不但能够保证蒸发图案的精度，而且蒸发效率更高，减少抽真空的时间。

为解决上述技术问题，本发明的技术方案是：一种公转式半导体蒸发台，包括下壳体和上盖，下壳体和上盖之间的内部空间形成了蒸发腔，该蒸发腔的底部设置有用于放置金属的坩埚，所述外壳的底部设置有电子束发生装置和对蒸发腔进行抽真空的抽真空装置，所述下壳体的内壁上旋转安装有旋转环，该旋转环由旋转动力装置驱动，所述旋转环上圆周均布若干个载片盖，每个载片盖工作面朝向内侧，载片盖的工作面上固定有若干个圆片，所述载片盖的外侧通过自转轴转动安装于固定座上，该固定座通过可松开或者锁紧的自锁结构安装于旋转环上，所述下壳体的内腔上转动安装有取料臂，该取料臂的摆动中心线与旋转环的直径共线且位于旋转环的外侧，所述取料臂的取料端位于旋转环的四分之一圆处，该取料端和固定座之间设置有将所述自锁结构切换使固定座与与取料端固定的自锁切换结构，下壳体上设置有驱动取料臂从取盖工位偏摆至蒸发工位的偏摆驱动装置，所述蒸发腔的底部设置有防护罩，载片盖处于蒸发工位时位于防护罩的上端且位于坩埚的正上方，所述上盖上设置有自转动力装置，该自转动力装置驱动蒸发工位的载片盖自转。

作为一种优选的方案，所述自转动力装置包括固定在上盖上的自转电机，该自转电机的输出轴上安装有主动拨杆，所述载片盖的自转轴上设置有与主动拨杆衔接的被动拨杆。

作为一种优选的方案，所述防护罩的内部设置有电加热装置。