[发明专利]与DBR包层及反射镜单片集成的波导光探测器有效
| 申请号： | 201911018076.6 | 申请日： | 2019-10-24 |
| 公开（公告）号： | CN110931575B | 公开（公告）日： | 2021-05-18 |
| 发明（设计）人： | 刘涛;马勇;王玺;潘武 | 申请（专利权）人： | 重庆邮电大学 |
| 主分类号： | H01L31/0232 | 分类号： | H01L31/0232;H01L31/101 |
| 代理公司： | 重庆市恒信知识产权代理有限公司 50102 | 代理人： | 刘小红;陈栋梁 |
| 地址： | 400065 重*** | 国省代码： | 重庆;50 |
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| 摘要： | 本发明请求保护一种与DBR包层及反射镜单片集成的波导光探测器，该结构将光电二极管、光波导、光波导侧向DBR包层、DBR反射镜单片集成在半绝缘衬底上。所请求保护的结构中，在光波导的左右两侧存在由半导体和有机物绝缘体构成的DBR包层以提高其对光的限制，在光波导的末端存在由半导体和有机物绝缘体构成的DBR反射镜以提高器件的有效光吸收长度，从而提高光探测器的量子效率，缓解光探测器带宽和量子效率相互制约的矛盾。 | ||
| 搜索关键词： | dbr 包层 反射 单片 集成 波导 探测器 | ||
【主权项】：
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L31-00 对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射，或微粒辐射敏感的，并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的，或者专门适用于通过这样的辐射进行电能控制的半导体器件；专门适用于制造或处理这些半导体器件或其部件的方法或
H01L31-02 .零部件
H01L31-0248 .以其半导体本体为特征的
H01L31-04 .用作转换器件的
H01L31-08 .其中的辐射控制通过该器件的电流的，例如光敏电阻器
H01L31-12 .与如在一个共用衬底内或其上形成的，一个或多个电光源，如场致发光光源在结构上相连的，并与其电光源在电气上或光学上相耦合的
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