[发明专利]一种惯性传感器及其控制方法有效
| 申请号： | 201911013165.1 | 申请日： | 2019-10-23 |
| 公开（公告）号： | CN110879303B | 公开（公告）日： | 2022-01-04 |
| 发明（设计）人： | 汪建平 | 申请（专利权）人： | 杭州士兰微电子股份有限公司 |
| 主分类号： | G01P15/125 | 分类号： | G01P15/125 |
| 代理公司： | 北京成创同维知识产权代理有限公司 11449 | 代理人： | 蔡纯;李向英 |
| 地址： | 310012*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本申请公开了一种惯性传感器及其控制方法，该惯性传感器包括传感器单元，该传感器单元包括可动质量块和衬底，可动质量块与衬底的第一表面相对，响应于在感测轴方向上的加速度而在感测轴方向上发生相应的位移，以及位于该表面上的检测电极和与检测电极隔离放置的辅助电极，前者根据，可动质量块的位置变化提供相应的检测信号，后者则提供相应的参考信号，还有处理电路，根据预设加速度下采集到的检测信号和参考信号获得并存储多个参考值，再根据参考值以及待测加速度下采集到的检测信号和参考信号确定待测加速度，由于该有效电容变化差值包含了因衬底形变造成的偏移误差，因此可减小惯性传感器的温度漂移，提高惯性传感器的精度。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 惯性 传感器 及其 控制 方法 | ||
【主权项】：
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