[发明专利]一种基于热平衡条件下的高精度电铸应力在线检测方法在审
| 申请号： | 201911000986.1 | 申请日： | 2019-10-21 |
| 公开（公告）号： | CN110579298A | 公开（公告）日： | 2019-12-17 |
| 发明（设计）人： | 蒋炳炎;罗坤杰;强军;董彦灼 | 申请（专利权）人： | 中南大学 |
| 主分类号： | G01L1/24 | 分类号： | G01L1/24;G01B11/255;C25D1/00 |
| 代理公司： | 43213 长沙朕扬知识产权代理事务所(普通合伙) | 代理人： | 刘向丹 |
| 地址： | 410083 *** | 国省代码： | 湖南;43 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种基于热平衡条件下的高精度电铸应力在线检测方法，采用稳定加热的方法提高电铸液在加温下的平稳性，使电铸液在加热条件下依然能对铸层应力进行高精度检测；阴极基底采用与铸层弹性模量相同或相近的材料；激光发生器和波前传感器的设置，使激光照射在阴极基底抛光面的检测区域，并且激光从抛光面反射后照射在波前传感器的接收窗口；根据电铸过程中反射激光波前相位图得到激光相位曲率半径，计算得到基底曲率半径，并带入stoney公式计算得出铸层平均应力。本发明采用在线检测的方式，可以得出铸层应力与铸层厚度的关系，为铸层应力降低研究提供检测基础。本发明在对铸层应力在线检测的同时，满足了高精度检测的需求。 | ||
| 搜索关键词： | 铸层 在线检测 阴极 波前传感器 高精度检测 电铸液 基底 弹性模量 激光发生器 热平衡条件 波前相位 电铸过程 反射激光 公式计算 基底抛光 激光相位 激光照射 加热条件 检测区域 接收窗口 应力降低 抛光面 平稳性 电铸 加温 反射 加热 照射 激光 检测 研究 | ||
【主权项】：
1.一种基于热平衡条件下的高精度电铸应力在线检测方法，其特征在于，采用激光发生器和波前传感器检测阴极基底的铸层应力；/n所述阴极基底采用与铸层弹性模量相同或相近的材料，其一面为抛光面，当阴极基底材料采用绝缘材料时，其非抛光的一面为经导电化处理的导电面，导电面面向阳极；/n所述激光发生器和波前传感器的设置，使激光照射在阴极基底抛光面的检测区域，并且激光从抛光面反射后照射在波前传感器的接收窗口；/n所述电铸应力在线检测方法包括下述的步骤：/nS1.设置波前传感器的采样参数及电铸参数，然后在电铸液加热达到热平衡条件下进行电铸并开始波前传感器采样检测；/nS2.根据电铸过程中反射激光波前相位图得到激光相位曲率半径，计算得到基底曲率半径，并带入stoney公式计算得出铸层平均应力。/n
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