[发明专利]一种晶圆加工用自动卸料研磨机在审
| 申请号： | 201910998780.6 | 申请日： | 2019-10-21 |
| 公开（公告）号： | CN110774173A | 公开（公告）日： | 2020-02-11 |
| 发明（设计）人： | 吴嘉至 | 申请（专利权）人： | 吴嘉至 |
| 主分类号： | B24B37/34 | 分类号： | B24B37/34;B24B55/03 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 518000 广东省*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种晶圆加工用自动卸料研磨机，其结构包括安装座、工作台、研磨头、升降台、电机、升降杆，安装座固定在工作台的底端，升降台中安装有电机与升降杆，升降杆中采用机械连接的方式连接有研磨头，研磨头对应于工作台，研磨头设置有钻口与机身，机身安装在升降杆上并控制钻口，机身内部组成有隔板、导流道、喷射口、支撑杆、围板、钻口控制器，本发明在研磨头机身中上端开设有导流道，其中导流道与隔板底端内部互通，加大研磨头的空气流通，而进液端设于机身上端，在研磨中冷却液一部分作用在研磨器件上一部分实现研磨头内部的水冷却，充分利用冷却液，而降低研磨头温度。 | ||
| 搜索关键词： | 研磨头 升降杆 机身 导流道 工作台 隔板 上端 安装座 冷却液 底端 电机 升降台 机身内部 机械连接 空气流通 研磨器件 自动卸料 控制器 研磨 进液端 喷射口 水冷却 研磨机 支撑杆 围板 种晶 升降 互通 加工 | ||
【主权项】：
1.一种晶圆加工用自动卸料研磨机，其结构包括安装座（1）、工作台（2）、研磨头（3）、升降台（4）、电机（5）、升降杆（6），其特征在于：/n所述安装座（1）固定在工作台（2）的底端，所述升降台（4）中安装有电机（5）与升降杆（6），所述升降杆（6）中采用机械连接的方式连接有研磨头（3），所述研磨头（3）对应于工作台（2），所述研磨头（3）设置有钻口（31）与机身（32），所述机身（32）安装在升降杆（6）上并控制钻口（31）；/n所述机身（32）内部组成有隔板（2a）、导流道（2b）、喷射口（2c）、支撑杆（2d）、围板（2e）、钻口控制器（2f），所述钻口控制器（2f）的底端通过隔板（2a）固定，所述导流道（2b）与喷射口（2c）内部相通，所述导流道（2b）相对于喷射口（2c）的另一端与支撑杆（2d）垂直焊接，所述喷射口（2c）与钻口控制器（2f）正对，所述钻口控制器（2f）两侧用围板（2e）密封。/n
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