[发明专利]防雷器球形部件激光化学气相沉积陶瓷层流水线及生产工艺

摘要

本发明提供了一种防雷器球形部件激光化学气相沉积陶瓷层流水线及生产工艺，所述流水线包括控制器和工作室，工作室的外侧位于进料口处设有单层进料装置，工作室内均匀设有多个相互平行的逆向输送辊，各逆向输送辊上自进料口向出料口形成有S形输送轨道，工作室的顶部沿逆向输送辊的输送方向设置有多个激光器，各激光器的焦点位置处设置可放置硅基片或铝基片的靶材座，工作室的底部设置有氧气入口，工作室的出料口端连通有空气过滤装置，工作室中位于出料口处设置有不良品检测装置。在该流水线上采用该生产工艺处理后的球形部件的表面可形成致密不导电的陶瓷膜，实现球形部件表面绝缘层的一次制备、质量的自动检测及良废产品的自动分类。

主权项

1.一种防雷器球形部件激光化学气相沉积陶瓷层流水线，其特征是：它包括控制器和工作室，所述工作室的两相对侧分别设置有进料口和出料口，所述工作室的外侧位于进料口处设置有单层进料装置，所述工作室内自进料口向出料口均匀设置有多个相互平行的逆向输送辊，且相邻两逆向输送辊之间的间距小于球形部件的直径，各逆向输送辊上自进料口向出料口形成有S形输送轨道，所述工作室的顶部沿逆向输送辊的输送方向设置有多个激光器，所述激光器与控制器电连接，所述工作室内位于各各激光器的焦点位置处固连有可放置硅基片或铝基片的靶材座，所述靶材座与水平面之间呈45°-75°的夹角，所述工作室的底部设置有氧气入口，所述工作室的出料口端连通有空气过滤装置，所述工作室中位于出料口处设置有不良品检测装置。/n