[发明专利]铁磁共振测量方法在审

专利信息
申请号: 201910984442.7 申请日: 2019-10-16
公开(公告)号: CN111060854A 公开(公告)日: 2020-04-24
发明(设计)人: 圣地牙哥·山诺·古山;路克·汤马斯;真杰诺;李松 申请(专利权)人: 台湾积体电路制造股份有限公司
主分类号: G01R33/16 分类号: G01R33/16
代理公司: 隆天知识产权代理有限公司 72003 代理人: 韩旭;黄艳
地址: 中国台*** 国省代码: 台湾;71
权利要求书: 查看更多 说明书: 查看更多
摘要: 一种铁磁共振测量方法,包括:磁性薄膜或堆叠层被图案化至具有延长轴长度的细长结构物。于有关于延长轴(平行于面内且垂直于长轴)的两个不同方向或垂直于平面的一方向施加磁场(H)。在其他实施例中,施加磁场(H)以在x轴方向沿着长轴平行于细长结构的第一组,及在y轴方向沿着长轴垂直于细长结构的第二组。从测量共振频率差(Δfr)(用于固定磁场并扫描频率的范围)中或测量共振场差(ΔHr)(用于固定微波频率并扫描磁场振幅的范围)中,使用去磁因子的方程式决定饱和磁化量(Ms)。
搜索关键词: 磁共振 测量方法
【主权项】:
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