[发明专利]铁磁共振测量方法

权利要求书

1.一种铁磁共振测量方法，用于决定在一磁性薄膜中或在具有形成于一晶圆上的至少一磁性层的一多层结构中的饱和磁化量(Ms)，并包括：

形成一图案于该磁性薄膜中或该多层结构中，其中该磁性薄膜中或该多层结构包括至少一第一细长(非对称)结构物及至少一第二细长结构物，该至少一第一细长结构物具有沿着一y轴方向的一第一长度(L₁)和具有沿着一x轴方向的一第一宽度(W₁)，该至少一第二细长结构物具有沿着该x轴方向的一第二长度(L₂)和沿着该y轴方向的一第二宽度(W₂)，该第一长度(L₁)大于该第一宽度(W₁)且该第二长度(L₂)大于该第二宽度(W₂)；

当施加一微波频率到该第一细长结构物及该第二细长结构物的每一个上的一或多个位置以产生一铁磁共振状态于该一或多个位置时，施加同时平行于该第一细长结构物且横向于该第二细长结构物的一磁场(H)或同时横向于该第一细长结构物且平行于该第二细长结构物的一磁场(H)，其中施加固定的一磁场于扫描微波频率的一范围时，或施加固定的一频率于扫描磁场振幅的一范围时；

由该第一细长结构物上的该一或多个位置所测量的一共振场(Hrx)及该第二细长结构物上的该一或多个位置所测量的一共振场(Hry)决定一共振场差(ΔHr)，或由该第一细长结构物上的该一或多个位置所测量的一共振频率(frx)及该第二细长结构物上的该一或多个位置所测量的一共振频率(fry)决定一共振频率差(Δfr)；以及

从该共振场差或该共振频率差，计算该饱和磁化量(Ms)。