[发明专利]一种制备单晶硅棒的方法在审
| 申请号： | 201910983360.0 | 申请日： | 2019-10-16 |
| 公开（公告）号： | CN110541190A | 公开（公告）日： | 2019-12-06 |
| 发明（设计）人： | 尉茂 | 申请（专利权）人： | 武汉先见科技有限公司 |
| 主分类号： | C30B15/02 | 分类号： | C30B15/02;C30B15/00;C30B29/06;C30B29/60 |
| 代理公司： | 31253 上海精晟知识产权代理有限公司 | 代理人： | 周琼<国际申请>=<国际公布>=<进入国 |
| 地址： | 430000 湖北省武汉市江汉*** | 国省代码： | 湖北;42 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明涉及一种制备单晶硅棒的方法，包括：S1、在直拉单晶炉内的石英坩埚中放入一定量的多晶硅；S2、在直拉单晶炉内设置一根进气陶瓷管；S3、炉内抽真空，加热融化多晶硅形成硅液，将进气陶瓷管下端浸入石英坩埚内的硅液中；S4、从进气陶瓷管中通入氯硅烷，氯硅烷在管壁开始分解成颗粒硅，未反应的氯硅烷进一步在硅液中鼓泡分解、熔化成硅液；S5、硅液达到一定高度后，停止通入氯硅烷，并抽真空至3Pa维持；S6、使用籽晶拉制出单晶硅棒。本发明的方法中直接将氯硅烷或硅烷通入硅液中，氯硅烷或硅烷会在管壁和硅液中鼓泡两个阶段分解，大大提高了分解效率，并无硅粉尘产生，用于解决现有技术中硅烷制造直拉单晶硅棒转化率低的问题。 | ||
| 搜索关键词： | 硅液 氯硅烷 进气陶瓷管 硅烷 分解 直拉单晶炉 单晶硅棒 石英坩埚 抽真空 多晶硅 鼓泡 管壁 直拉单晶硅棒 熔化 加热融化 浸入 拉制 硅粉尘 颗粒硅 炉内 下端 籽晶 制备 制造 | ||
【主权项】：
1.一种制备单晶硅棒的方法，其特征在于包括以下步骤：/nS1、在直拉单晶炉内的石英坩埚中放入一定量的多晶硅；/nS2、在直拉单晶炉内设置一根进气陶瓷管；/nS3、炉内抽真空，加热融化多晶硅形成硅液，将进气陶瓷管下端浸入石英坩埚内的硅液中；/nS4、从进气陶瓷管中通入氯硅烷或硅烷，氯硅烷或硅烷在管壁开始分解成颗粒硅，并落入石英坩埚内中融化成硅液，未反应的氯硅烷或硅烷进一步在硅液中鼓泡分解、熔化成硅液；/nS5、硅液达到一定高度后，停止通入氯硅烷或硅烷，并抽真空至3Pa维持一定时间；/nS6、使用籽晶拉制出单晶硅棒。/n
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于武汉先见科技有限公司，未经武汉先见科技有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201910983360.0/，转载请声明来源钻瓜专利网。
