[发明专利]一种实现光学聚焦和连续扫描的透射电镜系统及方法有效

专利信息
申请号: 201910982704.6 申请日: 2019-10-16
公开(公告)号: CN111855708B 公开(公告)日: 2021-07-20
发明(设计)人: 马超杰;刘畅;刘开辉;王恩哥;白雪冬 申请(专利权)人: 中国科学院物理研究所
主分类号: G01N23/04 分类号: G01N23/04;G01N23/20008;G01N21/01;G01N21/25;G01N21/63;G01N21/64;G01N21/47
代理公司: 北京泛华伟业知识产权代理有限公司 11280 代理人: 王勇
地址: 100190 *** 国省代码: 北京;11
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摘要: 发明提供一种实现光学聚焦和连续扫描的透射电镜系统及方法。所述透射电镜系统包括透射电子显微镜和激光引导系统,所述透射电子显微镜具有样品杆,所述透射电子显微镜的成像方向垂直于所述样品杆,所述样品杆内部具有光纤束,所述激光引导系统包括空间光调制器和图像采集器件,所述激光引导系统引导偏振激光从所述光纤束的一端进入所述光纤束,并从所述光纤束的另一端出射到所述图像采集器件,所述图像采集器件用于直接或间接获取所述空间光调制器上加载的相位信息。本发明通过空间光调制器的加载实现了光学聚焦和焦点连续扫描的透射电镜,可在激光聚焦的基础上实现焦点的连续扫描,从而在透射电镜中完成光谱学测量以及成像。
搜索关键词: 一种 实现 光学 聚焦 连续 扫描 透射 系统 方法
【主权项】:
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