[发明专利]电容器的制备方法及电容器有效
| 申请号： | 201910980364.3 | 申请日： | 2019-10-15 |
| 公开（公告）号： | CN112670408B | 公开（公告）日： | 2023-06-02 |
| 发明（设计）人： | 李相遇;崔基雄;金成基 | 申请（专利权）人： | 夏泰鑫半导体（青岛）有限公司 |
| 主分类号： | H10N97/00 | 分类号： | H10N97/00 |
| 代理公司： | 深圳市赛恩倍吉知识产权代理有限公司 44334 | 代理人： | 彭辉剑;龚慧惠 |
| 地址： | 266000 山东省青岛市黄岛区*** | 国省代码： | 山东;37 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 一种电容器的制备方法，包括：形成一顶电极；于所述顶电极上沉积一非晶硅锗层；以及通过准分子激光退火工艺对所述非晶硅锗层进行晶化处理以形成一多晶硅锗层，所述多晶硅锗层与所述顶电极电性连接。本发明还提供由上述方法制得的电容器。 | ||
| 搜索关键词： | 电容器 制备 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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