[发明专利]采用FIB制备测试样品的方法以及测试样品有效
| 申请号： | 201910972840.7 | 申请日： | 2019-10-14 |
| 公开（公告）号： | CN110553885B | 公开（公告）日： | 2022-04-12 |
| 发明（设计）人： | 刘婧;周阳 | 申请（专利权）人： | 长江存储科技有限责任公司 |
| 主分类号： | G01N1/28 | 分类号： | G01N1/28;G01N23/2202;G01N23/2005 |
| 代理公司： | 上海盈盛知识产权代理事务所(普通合伙) 31294 | 代理人： | 董琳 |
| 地址： | 430074 湖北省武汉市洪山区东*** | 国省代码： | 湖北;42 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种采用FIB制备测试样品的方法及一种测试样品，所述方法包括：提供具有一目标层的预处理样品，所述目标层具有相对的第一表面和第二表面；将所述预处理样品固定于样品台；沿朝向所述目标层第一表面和/或第二表面的方向，采用离子束对所述预处理样品进行第一减薄，将所述预处理样品厚度减薄至预设厚度；形成贯穿所述预处理样品的若干通孔；继续对形成有所述通孔的预处理样品进行第二减薄，直至将所述目标层减薄至目标厚度。上述方法可以避免目标层在减薄过程中产生形变。 | ||
| 搜索关键词： | 采用 fib 制备 测试 样品 方法 以及 | ||
【主权项】：
1.一种采用FIB制备测试样品的方法，其特征在于，包括：/n提供具有一目标层的预处理样品，所述目标层具有相对的第一表面和第二表面；/n将所述预处理样品固定于样品台；/n沿朝向所述目标层第一表面和/或第二表面的方向，采用离子束对所述预处理样品进行第一减薄，将所述预处理样品厚度减薄至预设厚度；/n形成贯穿所述预处理样品的若干通孔；/n继续对形成有所述通孔的预处理样品进行第二减薄，直至将所述目标层减薄至目标厚度。/n
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