[发明专利]一种半导体器件加工用旋转定位装置

摘要

本发明公开了一种半导体器件加工用旋转定位装置，属于半导体制造技术领域。一种半导体器件加工用旋转定位装置，包括安装箱，安装箱内开设有第一凹槽，第一凹槽内滑动连接有安装台，安装台顶部连接有转盘，转盘上开设有环槽，环槽内滑动连接有滑块，安装台转动连接有工作架，工作架上连接有蜗轮且，安装台内固定连接有第二电机，第二电机的输出端连接有蜗杆，蜗杆与蜗轮相啮合，工作架贯穿转盘延伸至顶部连接有支架，支架上转动连接有托盘，托盘底部固定连接有第一转轴，第一转轴通过第一连杆与滑块转动相连，托盘顶部连接有第二转轴，第二转轴上转动连接有第二连杆，托盘上固定连接有工作台；本发明结构紧凑，定位精确并且可以进行对比加工。

主权项

1.一种半导体器件加工用旋转定位装置，包括安装箱（1），其特征在于，所述安装箱（1）内开设有第一凹槽（102），所述第一凹槽（102）内滑动连接有安装台（2），所述安装台（2）顶部连接有转盘（201）且与安装台（2）为一体成型，所述转盘（201）上开设有环槽（2011），所述环槽（2011）内滑动连接有滑块（605），所述安装台（2）内转动连接有工作架（5），所述工作架（5）上连接有蜗轮（501）且与工作架（5）为一体成型，所述安装台（2）内固定连接有第二电机（4），所述第二电机（4）的输出端连接有蜗杆（401），所述蜗杆（401）与蜗轮（501）相啮合，所述工作架（5）贯穿转盘（201）延伸至顶部连接有支架（502），所述支架（502）上转动连接有托盘（6），所述托盘（6）底部固定连接有第一转轴（601），所述第一转轴（601）通过第一连杆（604）与滑块（605）转动相连，所述托盘（6）顶部连接有第二转轴（602），所述第二转轴（602）上转动连接有第二连杆（6021），所述托盘（6）上固定连接有工作台（603）。/n