[发明专利]一种制备大尺寸碳/碳发热体的工艺方法有效
申请号: | 201910960240.9 | 申请日: | 2019-10-10 |
公开(公告)号: | CN110963815B | 公开(公告)日: | 2022-01-28 |
发明(设计)人: | 邵忠 | 申请(专利权)人: | 福建康碳复合材料科技有限公司 |
主分类号: | C04B35/83 | 分类号: | C04B35/83;C04B35/52;C04B35/622 |
代理公司: | 上海新隆知识产权代理事务所(普通合伙) 31366 | 代理人: | 金利琴 |
地址: | 365000 福建省*** | 国省代码: | 福建;35 |
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摘要: | 本发明公开一种制备大尺寸碳/碳发热体的工艺方法,包括:1)将刚玉结构件及大尺寸预制体安装到电阻式沉积炉内,2)关闭炉门、关闭氢气和天然气进气阀,开启真空泵抽真空,保压;3)采取负压升温,压力控制在3‑10KPa,升温速率控制在100‑150℃/h,直至温度升至沉积温区1000‑1200℃,保温2‑10h;4)通入天然气,与此同时通入氢气,氢气通过管路进入所述盘状空间,氢气从所述圆盘侧壁的圆孔流入所述沉积炉的沉积区域;4)通入氮气,停炉降温。本发明采取等温等压CVI快速沉积工艺制备大尺寸碳/碳发热体,可控性能好,效率高,成本低,可批量制备。 | ||
搜索关键词: | 一种 制备 尺寸 发热 工艺 方法 | ||
【主权项】:
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