[发明专利]基板夹持装置及蒸镀设备有效
| 申请号： | 201910933014.1 | 申请日： | 2019-09-29 |
| 公开（公告）号： | CN110512184B | 公开（公告）日： | 2021-10-22 |
| 发明（设计）人： | 刘锦东;胡海芳;张磊;任星利 | 申请（专利权）人： | 京东方科技集团股份有限公司;鄂尔多斯市源盛光电有限责任公司 |
| 主分类号： | C23C14/50 | 分类号： | C23C14/50;C23C14/24;C23C14/04 |
| 代理公司： | 北京银龙知识产权代理有限公司 11243 | 代理人： | 许静;刘伟 |
| 地址： | 100015 *** | 国省代码： | 北京;11 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明实施例提供了一种基板夹持装置及蒸镀设备，该基板夹持装置包括：夹持板，包括第一表面及第一表面的四个侧边；多个支撑单元，夹持板的每一侧边上对应设置一个支撑单元，每一支撑单元包括沿该支撑单元所对应的侧边的延伸方向、依次间隔设置的多个支撑杆，支撑杆与夹持板之间在垂直于第一表面的方向上保持预定距离；在支撑杆的面向夹持板的一侧，和/或第一表面上对应各支撑杆的位置设置凹凸结构，凹凸结构用于使得支撑杆与夹持板之间形成支撑间隙，支撑间隙在第一方向上的宽度与凹凸结构在第一方向上的高度之和等于预定距离。本发明能够使基板与掩膜版的下垂方向、下垂量也会更大程度地保持一致，改善基板与掩膜版贴合状态不好的现象。 | ||
| 搜索关键词： | 夹持 装置 设备 | ||
【主权项】：
1.一种基板夹持装置，其特征在于，包括：/n夹持板，所述夹持板包括第一表面及所述第一表面的四个侧边；/n及，多个支撑单元，所述夹持板的每一所述侧边上对应设置一个所述支撑单元，每一所述支撑单元包括沿该支撑单元所对应的侧边的延伸方向、依次间隔设置的多个支撑杆，所述支撑杆与所述夹持板之间在垂直于所述第一表面的方向上保持预定距离；/n其中，在所述支撑杆的面向所述夹持板的一侧，和/或所述第一表面上对应各所述支撑杆的位置设置凹凸结构，所述凹凸结构用于使得所述支撑杆与所述夹持板之间形成支撑间隙，/n其中所述支撑间隙在所述第一方向上的宽度与所述凹凸结构在所述第一方向上的高度之和等于所述预定距离。/n
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于京东方科技集团股份有限公司;鄂尔多斯市源盛光电有限责任公司，未经京东方科技集团股份有限公司;鄂尔多斯市源盛光电有限责任公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201910933014.1/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 同类专利
- 专利分类
