[发明专利]基板夹持装置及蒸镀设备

说明书

本发明实施例提供了一种基板夹持装置及蒸镀设备，该基板夹持装置包括：夹持板，包括第一表面及第一表面的四个侧边；多个支撑单元，夹持板的每一侧边上对应设置一个支撑单元，每一支撑单元包括沿该支撑单元所对应的侧边的延伸方向、依次间隔设置的多个支撑杆，支撑杆与夹持板之间在垂直于第一表面的方向上保持预定距离；在支撑杆的面向夹持板的一侧，和/或第一表面上对应各支撑杆的位置设置凹凸结构，凹凸结构用于使得支撑杆与夹持板之间形成支撑间隙，支撑间隙在第一方向上的宽度与凹凸结构在第一方向上的高度之和等于预定距离。本发明能够使基板与掩膜版的下垂方向、下垂量也会更大程度地保持一致，改善基板与掩膜版贴合状态不好的现象。

技术领域

本发明涉及蒸镀技术领域，尤其涉及一种基板夹持装置及蒸镀设备。

背景技术

在OLED(Organic Light-Emitting Diode,有机发光二极管)器件生产过程中，Tact Time(节拍时间)是提高产能的重要参数之一，Align(校直)次数是影响Tact Time的一个因素，在整体蒸镀工艺时间中占据着重要地位。Align次数越多，对位时间将越长，整条生产线的Tact Time将越大，设备单耗就会增大，所以，如何降低Align次数对缩短TactTime至关重要。而影响Align次数的因素也有很多，包括：设备的磨损、平坦度不好、FingerGap(支撑间隙)不合适等多方面因素。

其中，蒸镀设备中通过基板夹持装置来夹持基板，基板夹持装置包括冷却板(Cooling Plate)和多根支撑杆(Finger)，多根支撑杆沿冷却板的边缘依次间隔排列，Finger Gap指的是Aligner(直线性校准器)在Contact位置(设备运动到支撑杆与冷却板接触接触的位置)时，支撑杆与冷却板之间的间隙，Finger Gap大于基板厚度时，承载玻璃时会起到支撑作用，小于基板厚度时，在承载玻璃时起到夹紧玻璃的作用。

目前，蒸镀时基板与掩膜版会进行贴合蒸镀，如果掩膜版与基板的下垂量不相同，就会导致基板对应不同掩膜版位置呈现的偏移情况(PPA)不同，从而导致不同位置发生的不良情况也不相同。在目前生产中经常发生局部位置发生边缘混色，条混等混色类不良，经过调查均与PPA偏移相关，PPA偏移是由于掩膜版与基板贴合状态不好导致。

对于长短边不同的基板来说，长边的下垂量会大于短边的下垂量，在相关技术中通常都是采用基板短边夹紧的方式来夹持基板，例如，在基板的短边对应一侧，设计FingerGap相同且均小于基板厚度，这样，可以更大程度保持基板与掩膜版下垂方向一致，使得掩膜版和基板在蒸镀时下垂量尽可能一致，以保证产品的Uni和PPA的稳定性。但是即使这样，仍然存在由于掩膜版与基板下垂量不同，导致两者贴合程度不同，尤其是，基板与掩膜版中间位置贴合好，两端贴合不好，从而导致不同位置呈现的PPA也不相同，引起混色不良。

发明内容

本发明的目的在于提供一种基板夹持装置及蒸镀设备，可以改善掩膜版与基板下垂量不同而贴合状态不好的现象，从而改善混色不良问题。

本发明所提供的技术方案如下：

本发明实施例一方面提供一种基板夹持装置，包括：

夹持板，所述夹持板包括第一表面及所述第一表面的四个侧边；

及，多个支撑单元，所述夹持板的每一所述侧边上对应设置一个所述支撑单元，每一所述支撑单元包括沿该支撑单元所对应的侧边的延伸方向、依次间隔设置的多个支撑杆，所述支撑杆与所述夹持板之间在垂直于所述第一表面的方向上保持预定距离；

其中，在所述支撑杆的面向所述夹持板的一侧，和/或所述第一表面上对应各所述支撑杆的位置设置凹凸结构，所述凹凸结构用于使得所述支撑杆与所述夹持板之间形成支撑间隙，

其中所述支撑间隙在所述第一方向上的宽度与所述凹凸结构在所述第一方向上的高度之和等于所述预定距离。