[发明专利]一种用于平台的弹簧顶针机构及真空等离子处理腔体

摘要

本发明公开了一种用于平台的弹簧顶针机构及真空等离子处理腔体，所述弹簧顶针机构包括沿针孔从平台上端面伸出缩回的顶针；还包括导向管、弹簧和底座；所述导向管包括若干沿圆周方向间隔布置在平台下端面的圆弧导向板，所述若干圆弧导向板均与一个针孔同轴；所述底座上设置有若干圆弧通槽；每个圆弧通槽滑动套装在一个圆弧导向板外；所述顶针的下端固定在底座中心上；所述弹簧位于所述底座的上端面与平台下端面之间；当顶针从平台上端面伸出，弹簧处于压缩状态。本发明的顶针始终保持与平台的垂直，不会产生转动偏斜卡涩的问题，无需考虑针孔与顶针的配合间隙，保证顶针在针孔内伸缩顺畅；同时保证顶针能够从平台上端面缩回，防止顶针下落不到位。

主权项

1.一种用于平台的弹簧顶针机构，所述平台上设置有针孔；所述弹簧顶针机构包括沿针孔从平台上端面伸出缩回的顶针（1）；其特征在于：还包括导向管、弹簧（2）和底座（3）；所述导向管包括若干直径相同的圆弧导向板（4），所述若干圆弧导向板（4）均与一个针孔同轴，且若干圆弧导向板（4）沿圆周方向间隔布置，所述若干圆弧导向板（4）的上端固定在平台下端面；/n所述底座（3）上设置有若干圆弧通槽（5）；所述圆弧通槽（5）与圆弧导向板（4）一一对应，每个圆弧通槽（5）滑动套装在一个圆弧导向板（4）外；所述顶针（1）的下端固定在底座（3）上，且顶针（1）位于导向管的轴心线上并可沿导向管轴向移动；/n所述弹簧（2）套装在导向管外周，且弹簧（2）位于所述底座（3）的上端面与平台下端面之间；当顶针（1）从平台上端面伸出，弹簧（2）处于压缩状态。/n