[发明专利]一种用于平台的弹簧顶针机构及真空等离子处理腔体

权利要求书

1.一种用于平台的弹簧顶针机构，所述平台上设置有针孔；所述弹簧顶针机构包括沿针孔从平台上端面伸出缩回的顶针（1）；其特征在于：还包括导向管、弹簧（2）和底座（3）；所述导向管包括若干直径相同的圆弧导向板（4），所述若干圆弧导向板（4）均与一个针孔同轴，且若干圆弧导向板（4）沿圆周方向间隔布置，所述若干圆弧导向板（4）的上端固定在平台下端面；

所述底座（3）上设置有若干圆弧通槽（5）；所述圆弧通槽（5）与圆弧导向板（4）一一对应，每个圆弧通槽（5）滑动套装在一个圆弧导向板（4）外；所述顶针（1）的下端固定在底座（3）上，且顶针（1）位于导向管的轴心线上并可沿导向管轴向移动；

所述弹簧（2）套装在导向管外周，且弹簧（2）位于所述底座（3）的上端面与平台下端面之间；当顶针（1）从平台上端面伸出，弹簧（2）处于压缩状态。

2.根据权利要求1所述的弹簧顶针机构，其特征在于：所述底座（3）上设置有向上端凸出的限位凸台（6），用于限制底座（3）向平台移动时与平台的最小距离。

3.根据权利要求2所述的弹簧顶针机构，其特征在于：所述导向管还包括位于导向管上端的圆弧限位板（7）；所述圆弧限位板（7）连接在圆弧导向板（4）之间；所述圆弧限位板（7）位于限位凸台（6）向平台移动的路径上。

4.根据权利要求3所述的弹簧顶针机构，其特征在于：当弹簧（2）处于自然长度，所述限位凸台（6）的上端面与圆弧限位板（7）的下端面的距离小于弹簧（2）的可压缩极限长度。

5.根据权利要求1-4任意一项所述的弹簧顶针机构，其特征在于：所述弹簧（2）的自然长度与底座（3）的厚度之和小于导向管的长度。

6.根据权利要求5所述的弹簧顶针机构，其特征在于：所述导向管的上端通过法兰（8）连接平台下端面。

7.根据权利要求6所述的弹簧顶针机构，其特征在于：所述顶针（1）的下端设置有螺纹部（9）；所述底座（3）上开设有螺纹孔（10）；所述顶针（1）的螺纹部（9）旋入螺纹孔（10）内固定。

8.一种真空等离子处理腔体，其特征在于：包括若干如权利要求1-7任意一项所述的弹簧顶针机构；还包括工件载台（11），所述工件载台（11）上设置有若干针孔，弹簧顶针机构与针孔一一对应安装在工件载台（11）下端；还包括用于支撑工件并将工件送至工件载台上方的机械手（12）；当机械手（12）位于工件载台（11）上方，所述顶针（1）的上端可穿过机械手（12）并位于机械手（12）上方。

9.根据权利要求8所述的真空等离子处理腔体，其特征在于：还包括顶板（13）；所述顶板（13）与底座（3）的下端面相接；所述顶板（13）上设置有若干与顶针（1）一一对应的通孔（14）；所述通孔（14）的直径大于导向管的直径，且小于底座（3）的直径。