[发明专利]飞秒激光器分布式干涉仪系统在审
申请号: | 201910917274.X | 申请日: | 2019-09-26 |
公开(公告)号: | CN110530257A | 公开(公告)日: | 2019-12-03 |
发明(设计)人: | 张少林;张万祯;周秋玲 | 申请(专利权)人: | 深圳市威富视界有限公司 |
主分类号: | G01B9/02 | 分类号: | G01B9/02;G01S17/10 |
代理公司: | 44224 广州华进联合专利商标代理有限公司 | 代理人: | 张彬彬<国际申请>=<国际公布>=<进入 |
地址: | 518101 广东省深圳市宝安区*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | 本申请提供一种飞秒激光器分布式干涉仪系统。通过第一光学频率梳和第二光学频率梳发出的光分为多路子测量光和多路子本振光。一路子测量光和一路子本振光一一对应,并入射至一个干涉仪装置。此时,子测量光经干涉仪装置照射至被测物体,经被测物体反射后入射至干涉仪装置,干涉仪装置出射的子测量光与子本振光合并,形成干涉信号。干涉仪装置根据干涉信号获取被测物体的测量信息。通过一路子测量光、一路子本振光和一个干涉仪装置实现对一个被测物体的测量信息进行检测。飞秒激光器分布式干涉仪系统实现了双光梳光源同时测量多个所述被测物体,可以实现检测大量的所述被测物体,大幅度降低了系统成本,节省了检测时间,提高了检测效率。 | ||
搜索关键词: | 干涉仪装置 被测物体 本振光 测量光 飞秒激光器 干涉仪系统 光学频率梳 检测 干涉信号 测量 子测量 系统成本 出射 入射 双光 反射 光源 照射 合并 申请 | ||
【主权项】:
1.一种飞秒激光器分布式干涉仪系统,其特征在于,包括:/n第一光学频率梳(10),用于提供测距光源;/n第二光学频率梳(20),用于提供本振光源;/n第一分光模块(30),设置于所述测距光源的光路上,用于将所述测距光源分为多路子测量光;/n第二分光模块(40),设置于所述本振光源的光路上,用于将所述本振光源分为多路子本振光;/n多个干涉仪装置(50),一路所述子测量光和一路所述子本振光分别入射至一个所述干涉仪装置(50);/n所述子测量光经所述干涉仪装置(50)照射至被测物体(60),经所述被测物体(60)反射后的所述子测量光入射至所述干涉仪装置(50),经所述干涉仪装置(50)出射的所述子测量光和所述子本振光合并,形成干涉信号;/n所述干涉仪装置(50)根据所述干涉信号获取所述被测物体(60)的测量信息。/n
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