[发明专利]飞秒激光器分布式干涉仪系统

说明书

本申请提供一种飞秒激光器分布式干涉仪系统。通过第一光学频率梳和第二光学频率梳发出的光分为多路子测量光和多路子本振光。一路子测量光和一路子本振光一一对应，并入射至一个干涉仪装置。此时，子测量光经干涉仪装置照射至被测物体，经被测物体反射后入射至干涉仪装置，干涉仪装置出射的子测量光与子本振光合并，形成干涉信号。干涉仪装置根据干涉信号获取被测物体的测量信息。通过一路子测量光、一路子本振光和一个干涉仪装置实现对一个被测物体的测量信息进行检测。飞秒激光器分布式干涉仪系统实现了双光梳光源同时测量多个所述被测物体，可以实现检测大量的所述被测物体，大幅度降低了系统成本，节省了检测时间，提高了检测效率。

技术领域

本申请涉及激光测量技术领域，特别是涉及一种飞秒激光器分布式干涉仪系统。

背景技术

飞秒激光是一种超短脉冲激光，其时域脉冲宽度在飞秒数量级。由于飞秒激光具有光谱范围宽、脉冲宽度窄、重复频率稳定性高和峰值功率高等优点，并可靠地提供了光频域和射频域的联系途径，所以在精密距离测量、光谱测量、频率测量、快速过程观测、飞秒激光加工等领域得到了广泛的研究和应用。

然而，传统的飞秒激光器干涉仪系统用来实现对单一位置目标的测量。在工业智能化制造的环境下，当需要大规模检测大量的被测目标的测量信息时，则需要大量的传统飞秒激光器干涉仪系统分别对多个被测目标进行检测，使得整体检测成本太高，检测效率低。

发明内容

基于此，有必要针对在大规模检测多个被测目标的测量信息时，传统飞秒激光器干涉仪系统检测单一、成本高、检测效率低的问题，提供一种可以实现双光梳光源同时测量多个被测目标、检测成本低、检测效率高的飞秒激光器分布式干涉仪系统。

本申请提供一种飞秒激光器分布式干涉仪系统包括第一光学频率梳、第二光学频率梳、第一分光模块、第二分光模块以及多个干涉仪装置。所述第一光学频率梳用于提供测距光源。所述第二光学频率梳用于提供本振光源。所述第一分光模块设置于所述测距光源的光路上，用于将所述测距光源分为多路子测量光。所述第二分光模块设置于所述本振光源的光路上，用于将所述本振光源分为多路子本振光。一路所述子测量光和一路所述子本振光分别入射至一个所述干涉仪装置。所述子测量光经所述干涉仪装置照射至被测物体，经所述被测物体反射后的所述子测量光入射至所述干涉仪装置，经干涉仪装置出射的所述子测量光和所述子本振光合并，形成干涉信号。所述干涉仪装置根据所述干涉信号获取所述被测物体的测量信息。

本申请提供一种上述飞秒激光器分布式干涉仪系统。所述第一光学频率梳发出的光经过所述第一分光模块进行分束，将所述测距光源分为多路子测量光。所述第二光学频率梳发出的光经过所述第二分光模块进行分束，将所述本振光源分为多路子本振光。其中，一路所述子测量光和一路所述子本振光一一对应，并入射至一个所述干涉仪装置。此时，所述子测量光经所述干涉仪装置照射至被测物体，经所述被测物体反射后的所述子测量光入射至所述干涉仪装置，并与所述子本振光合并，形成干涉信号。所述干涉仪装置根据所述干涉信号即可获取所述被测物体的测量信息。此时，通过一路所述子测量光、一路所述子本振光和一个所述干涉仪装置可以实现对一个所述被测物体的测量信息进行检测。

因此，所述飞秒激光器分布式干涉仪系统通过将所述测距光源和所述本振光源分别进行分束形成多路子测量光和多路子本振光，实现了双光梳光源同时测量多个所述被测物体。从而，通过所述飞秒激光器分布式干涉仪系统可以实现检测大量的所述被测物体的测量信息，大幅度降低了系统成本，节省了检测时间，提高了检测效率。

附图说明

图1为本申请提供的飞秒激光器分布式干涉仪系统的整体原理流程图；

图2为本申请提供的一个实施例中飞秒激光器分布式干涉仪系统的结构示意图；

图3为本申请提供的一个实施例中飞秒激光器分布式干涉仪系统的干涉仪装置的结构示意图；