[发明专利]二氧化钒薄膜微细图形的制备方法在审
| 申请号： | 201910904961.8 | 申请日： | 2019-09-24 |
| 公开（公告）号： | CN110512196A | 公开（公告）日： | 2019-11-29 |
| 发明（设计）人： | 武传宝;蒲林峰;王允威 | 申请（专利权）人： | 攀枝花学院 |
| 主分类号： | C23C18/12 | 分类号： | C23C18/12;C23C18/06 |
| 代理公司： | 51124 成都虹桥专利事务所(普通合伙) | 代理人： | 张小丽<国际申请>=<国际公布>=<进入 |
| 地址： | 617000 四*** | 国省代码： | 四川;51 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明属于微电子和薄膜材料技术领域，具体涉及二氧化钒薄膜微细图形的制备方法。本发明提供了一种工艺简单、成本低廉的二氧化钒薄膜微细图形的制备方法。该方法是：a、溶胶制备：将乙酰丙酮氧钒加入至无水甲醇中，配制得二氧化钒前驱溶胶，室温搅拌，静置，得感光二氧化钒前驱溶胶；b、将感光二氧化钒前驱溶胶涂覆于基片上获得含钒凝胶膜；c、凝胶膜微细加工：将含钒凝胶膜进行烘制，覆盖掩膜板后在紫外灯下曝光，浸入无水乙醇和正丁醇的混合溶液溶洗，得含钒凝胶膜微细图形；d、将含钒凝胶膜微细图形进行热处理即得二氧化钒薄膜微细图形。本发明方法工艺简单、成本低廉，具有潜在的应用前景。 | ||
| 搜索关键词： | 微细图形 凝胶膜 二氧化钒薄膜 二氧化钒 前驱溶胶 感光 制备 乙酰丙酮氧钒 热处理 浸入 薄膜材料 混合溶液 溶胶制备 室温搅拌 微细加工 无水甲醇 无水乙醇 潜在的 掩膜板 正丁醇 紫外灯 烘制 涂覆 微电子 配制 曝光 覆盖 应用 | ||
【主权项】：
1.二氧化钒薄膜微细图形的制备方法，其特征在于包括如下步骤：/na、溶胶制备：将乙酰丙酮氧钒加入至无水甲醇中，配制得二氧化钒前驱溶胶，室温搅拌，静置，得感光二氧化钒前驱溶胶；/nb、将感光二氧化钒前驱溶胶涂覆于基片上获得含钒凝胶膜；/nc、凝胶膜微细加工：将含钒凝胶膜进行烘制，覆盖掩膜板后在紫外灯下曝光，浸入无水乙醇和正丁醇的混合溶液溶洗，得含钒凝胶膜微细图形；/nd、将含钒凝胶膜微细图形进行热处理即得二氧化钒薄膜微细图形。/n
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C23 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C18-00 通过液态化合物分解抑或覆层形成化合物溶液分解、且覆层中不留存表面材料反应产物的化学镀覆
C23C18-02 .热分解法
C23C18-14 .辐射分解法，例如光分解、粒子辐射
C23C18-16 .还原法或置换法，例如无电流镀
C23C18-54 .接触镀，即无电流化学镀
C23C18-18 ..待镀材料的预处理
C23C 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
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