[发明专利]二氧化钒薄膜微细图形的制备方法在审
| 申请号： | 201910904961.8 | 申请日： | 2019-09-24 |
| 公开（公告）号： | CN110512196A | 公开（公告）日： | 2019-11-29 |
| 发明（设计）人： | 武传宝;蒲林峰;王允威 | 申请（专利权）人： | 攀枝花学院 |
| 主分类号： | C23C18/12 | 分类号： | C23C18/12;C23C18/06 |
| 代理公司： | 51124 成都虹桥专利事务所(普通合伙) | 代理人： | 张小丽<国际申请>=<国际公布>=<进入 |
| 地址： | 617000 四*** | 国省代码： | 四川;51 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 微细图形 凝胶膜 二氧化钒薄膜 二氧化钒 前驱溶胶 感光 制备 乙酰丙酮氧钒 热处理 浸入 薄膜材料 混合溶液 溶胶制备 室温搅拌 微细加工 无水甲醇 无水乙醇 潜在的 掩膜板 正丁醇 紫外灯 烘制 涂覆 微电子 配制 曝光 覆盖 应用 | ||
1.二氧化钒薄膜微细图形的制备方法，其特征在于包括如下步骤：
a、溶胶制备：将乙酰丙酮氧钒加入至无水甲醇中，配制得二氧化钒前驱溶胶，室温搅拌，静置，得感光二氧化钒前驱溶胶；
b、将感光二氧化钒前驱溶胶涂覆于基片上获得含钒凝胶膜；
c、凝胶膜微细加工：将含钒凝胶膜进行烘制，覆盖掩膜板后在紫外灯下曝光，浸入无水乙醇和正丁醇的混合溶液溶洗，得含钒凝胶膜微细图形；
d、将含钒凝胶膜微细图形进行热处理即得二氧化钒薄膜微细图形。
2.根据权利要求1所述的二氧化钒薄膜微细图形的制备方法，其特征在于：步骤a中，所述二氧化钒前驱溶胶的浓度为0.1～0.5mol/L。
3.根据权利要求1或2所述的二氧化钒薄膜微细图形的制备方法，其特征在于：步骤a中，所述搅拌的时间为4～8h；所述静置的时间为36～72h。
4.根据权利要求1～3任一项所述的二氧化钒薄膜微细图形的制备方法，其特征在于：步骤b中，所述将感光二氧化钒前驱溶胶涂覆于基片上是通过浸渍提拉法或旋涂法在硅基片或玻璃基片上获得含钒凝胶膜；所述浸渍提拉法的提拉速度为1～3mm/s；所述旋涂法的旋转速度为2000～4000rpm，时间为10～30s。
5.根据权利要求1～4任一项所述的二氧化钒薄膜微细图形的制备方法，其特征在于：步骤c中，所述烘制的条件是在80～120℃烘10～30min。
6.根据权利要求1～5任一项所述的二氧化钒薄膜微细图形的制备方法，其特征在于：步骤c中，所述紫外灯的波长为240～400nm；所述曝光的时间为50～90min。
7.根据权利要求1～6任一项所述的二氧化钒薄膜微细图形的制备方法，其特征在于：步骤c中，所述无水乙醇和正丁醇的混合溶液中，无水乙醇与正丁醇的体积比为2:1～5:1；所述溶洗的时间为5～15s。
8.根据权利要求1～7任一项所述的二氧化钒薄膜微细图形的制备方法，其特征在于：步骤d中，所述热处理是将含钒凝胶膜微细图形在500～600℃，
在氮气保护下保温30～90min。
9.根据权利要求1～8任一项所述的二氧化钒薄膜微细图形的制备方法，其特征在于：步骤d中，所述热处理过程中升温的速率为5～15℃/min。
10.权利要求1～9任一项所述的制备方法制备得到的二氧化钒薄膜微细图形。
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C23C 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C18-00 通过液态化合物分解抑或覆层形成化合物溶液分解、且覆层中不留存表面材料反应产物的化学镀覆
C23C18-02 .热分解法
C23C18-14 .辐射分解法，例如光分解、粒子辐射
C23C18-16 .还原法或置换法，例如无电流镀
C23C18-54 .接触镀，即无电流化学镀
C23C18-18 ..待镀材料的预处理
