[发明专利]一种工业化学机械研磨设备在审
| 申请号： | 201910899320.8 | 申请日： | 2019-09-23 |
| 公开（公告）号： | CN110625515A | 公开（公告）日： | 2019-12-31 |
| 发明（设计）人： | 黄功钢 | 申请（专利权）人： | 黄功钢 |
| 主分类号： | B24B37/00 | 分类号： | B24B37/00;B24B37/27;B24B41/04;B24B57/02;B24B55/02 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 422000 湖*** | 国省代码： | 湖南;43 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种工业化学机械研磨设备，其结构包括机头、机箱、磨料喷头、驱动轴、磨头机构、护罩、转盘，转盘上设有抛光垫，机头与机箱之间采用电性连接，机箱的上端固定有护罩，护罩设置有转盘，驱动轴通过机头控制，驱动轴底端连接磨头机构，磨料喷头的一端贯穿于护罩连接至机箱上，另一端对应于抛光垫，磨料喷头在抛光垫的外侧添加，而抛光垫内侧与内滑槽、中集口共同作用，在研磨中可将磨料嵌入到抛光垫内部，沿着为碗状的内滑槽斜面下滑至中集口内，抛光过程中，旧磨料借助抛光垫与晶片之间的摩擦力，自动脱离抛光表面使得新磨料暴露出来，实现一个新旧料及时更替现象，减少抛光盘表面发生分支重组，防止表面形成厚厚的一层釉化层。 | ||
| 搜索关键词： | 抛光垫 护罩 机箱 磨料 磨料喷头 驱动轴 转盘 磨头机构 内滑槽 机头 机械研磨设备 抛光盘表面 表面形成 电性连接 工业化学 机头控制 抛光表面 抛光过程 上端固定 自动脱离 研磨 釉化层 底端 晶片 旧料 碗状 嵌入 更替 暴露 贯穿 | ||
【主权项】：
1.一种工业化学机械研磨设备，其结构包括机头（1）、机箱（2）、磨料喷头（3）、驱动轴（4）、磨头机构（5）、护罩（6）、转盘（7），其特征在于：/n所述转盘（7）上设有抛光垫（71），所述机头（1）与机箱（2）之间采用电性连接，所述机箱（2）的上端固定有护罩（6），所述护罩（6）设置有转盘（7），所述驱动轴（4）通过机头（1）控制，驱动轴（4）底端连接磨头机构（5），所述磨料喷头（3）的一端贯穿于护罩（6）连接至机箱（2）上，另一端对应于抛光垫（71），所述转盘（7）还包括有内滑槽（72）与中集口（73），所述内滑槽（72）与抛光垫（71）为一体化，所述抛光垫（71）与中集口（73）为一个轴心，所述抛光垫（71）位于内滑槽（72）的外圆周面设有抛光道。/n
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