[发明专利]具有标准具的白光干涉仪的量值测量方法

摘要

本发明公开了一种具有标准具的白光干涉仪的量值测量方法，其测量步骤为：在白光干涉仪的光路中分光光路前增加通光孔径相同平行光路系统，并在其中放置标准具；调整干涉仪的干涉条纹，将干涉仪两个相干光路调整到完全垂直；调整使两相干光自分光点至两参考镜的距离相等，出现白光零次干涉带；通过参考镜和量块工作台的调整，达到钢平晶上的干涉带平行于被测量块短边，并且被测量块上的零次干涉带通过被测量块中部的中点；测出钢平晶上的零次干涉带与被测量块中心点上零次干涉带的距离并修正。本发明方法提高了量块测量精度，不会产生粗大误差，提高测量效率，不磨损，寿命长，易于实现测量的自动化与半自动化，可以进行许多精密测量。

主权项

1.一种具有标准具的白光干涉仪的量值测量方法，其特征在于，在白光干涉仪光路中加入平行光路系统，标准具置于其中；其测量步骤如下：/n步骤1：在白光干涉仪的分光光路前增加通光孔径相同的平行光系统，在此平行光系统中放置标准具(6)；/n步骤2：调整白光干涉仪的相干光路；/n将白光干涉仪两个相干光路调整到完全垂直，即两相干光完全重合，采用单色光照明时能够看到干涉条纹；/n对于接触式白光干涉仪其干涉系统是完整的，出厂时应已调好；对于检定一等量块的白光干涉仪，其被测量块(8)及研合的钢平晶(15)构成相干光路中一支的参考平面，在调整干涉时先将被测量块(8)研合在钢平晶(15)上，并放置在量块工作台(14)上，构成完整的干涉系统，再调整相干光路；/n步骤3：调整出零次白光干涉条纹；/n在单色光照明下能够看到单色干涉条纹，此时增加白光照明，调整使两相干光自分光点至两参考镜的距离相等，在调整过程单色光干涉条纹越来越清晰，最终在单色光干涉条纹中出现白光彩色干涉带组，彩色干涉带中，零次黑色干涉带最清晰；将干涉带的方向和间隔调整至所需；/n对于接触式白光干涉仪出厂时都应调整好；/n对于一等量块白光干涉仪此时在钢平晶(15)和被测量块(8)上能够同时看到零次黑色干涉条纹，先调整钢平晶上的零次干涉带，使其平行于被测量块(8)的短边，及适当的间隔；然后上下调整工作台，使被测量块(8)上的零次黑条纹通过被测量块(8)的中心点，再次检查平晶上的干涉带是否仍旧平行于被测量块(8)短边，钢平晶(15)的质量应保证此时在工作台放入任意一块钢平晶(15)都能看到单色光干涉条纹；/n步骤4：进行量值测量；/n对于接触式白光干涉仪，将测头与工作台的测球或筋接触找到转折点，并调整零次干涉带于视场中间的零刻线，进行读数a